對于如今的半導體產業而言，EUV光刻機是打造下一代邏輯和DRAM工藝技術的關鍵所在，為了在未來的工藝軍備競賽中保持優勢，臺積電、三星和英特爾等廠商紛紛花重金購置EUV光刻機。 ? 然而，當這些來自
2022-07-22 07:49:00
2403 推動科技進步的半導體技術真的會停滯不前嗎？這也不太可能，7nm工藝節點將開始應用EUV光刻工藝，研發EUV光刻機的ASML表示EUV工藝將會支持未來15年，部分客戶已經在討論2030年的1.5nm工藝路線圖了。
2017-01-22 11:45:423424 傳統的光刻工藝是相對目前已經或尚未應用于集成電路產業的先進光刻工藝而言的，普遍認為 193nm 波長的 ArF 深紫外光刻工藝是分水嶺（見下表）。這是因為 193nm 的光刻依靠浸沒式和多重曝光技術的支撐，可以滿足從 0.13um至7nm 共9個技術節點的光刻需要。
2022-10-18 11:20:2913995 根據最新數據顯示，ASML在12月中完成了第100臺EUV光刻機的出貨。更加利好的消息是，業內預估ASML今年（2021年）的EUV光刻機產能將達到45~50臺的規模。
2021-01-03 00:28:004735 作為近乎壟斷的光刻機巨頭，ASML的EUV光刻機已經在全球頂尖的晶圓廠中獲得了使用。無論是英特爾、臺積電還是三星，EUV光刻機的購置已經是生產支出中很大的一筆，也成了7nm之下不可或缺的制造設備
2021-12-01 10:07:4110988 盡管ASML作為目前占據主導地位的光刻機廠商，憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵，主導著半數以上的市場份額，但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機廠商尼康和佳能為例，他們就仍在
2022-11-24 01:57:004865 電子發燒友網報道（文/周凱揚）到了3nm這個工藝節點之后，單靠現有的0.33NA EUV光刻機就很難維系下去了。為了實現2nm乃至未來的埃米級工藝，將晶體管密度推向1000MTr/mm2，全面
2022-12-07 01:48:002199 ofweek電子工程網訊 國際半導體制造龍頭三星、臺積電先后宣布將于2018年量產7納米晶圓制造工藝。這一消息使得業界對半導體制造的關鍵設備之一極紫外光刻機（EUV）的關注度大幅提升。此后又有媒體
2017-11-14 16:24:44
一、光刻膠的選擇光刻膠包括兩種基本的類型：正性光刻和負性光刻，區別如下
2021-01-12 10:17:47
！光刻機本身的原理，其實和相機非常相似，同學們可以把光刻機就想成是一臺巨大的單反相機。相機的原理，是被攝物體被光線照射所反射的光線，透過相機的鏡頭，將影像投射并聚焦在相機的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38:07
關于
光刻工藝的原理，大家
可以想象一下膠片照片的沖洗，掩膜版就相當于膠片，而
光刻機就是沖洗臺，它把掩膜版上的芯片電路一個個的復制到
光刻膠薄膜上，然后通過刻蝕技術把電路“畫”在晶圓上?！ ‘斎?/div>
2020-07-07 14:22:55
`現在處理一批MA-1200光刻機的零件，有需要的朋友請直接聯系我：137-3532-3169`
2020-02-06 16:24:39
微米之間,此間隙可以大大減少對掩膜版的損傷.接近式暴光的分辨率較低,一般在2~4微米之間,因此接近式光刻機只能裝配在特征尺寸交大的集成電路生產線中.接觸或接近式光刻機的主要優點是生產效率較高?！ 艚佑|式
2012-01-12 10:56:23
如果國家以兩彈一星的精神投入光刻機的研發制造，結果會怎樣？
2020-06-10 19:23:14
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻機作為集成電路制造中最關鍵的設備，對芯片制作工藝有著決定性的影響，被譽為“超精密制造技術皇冠上的明珠”，根據之前中芯國際的公報，目...
2021-07-29 09:36:46
GK-1000光刻掩膜版測溫儀，光刻機曝光光學系統測溫儀光刻機是一種用于微納米加工的設備，主要用于制造集成電路、光電子器件、MEMS（微機電系統）等微細結構。光刻機是一種光學投影技術，通過將光線通過
2023-07-07 11:46:07
光刻膠與光刻工藝技術 微電路的制造需要把在數量上精確控制的雜質引入到硅襯底上的微小 區域內,然后把這些區域連起來以形成器件和VLSI電路.確定這些區域圖形 的工藝是由光刻來完成的,也就是說,首先在硅片上旋轉涂覆光刻膠,再將 其曝露于某種光源下,如紫外光,
2011-03-09 16:43:21
0 進入10nm工藝節點之后，EUV光刻機越來越重要，全球能產EUV光刻機的就是荷蘭ASML公司了，他們總共賣出18臺EUV光刻機，總價值超過20億歐元，折合每套系統售價超過1億歐元，可謂價值連城。
2017-01-19 18:22:593470 本文以光刻機為中心，主要介紹了光刻機的分類、光刻機的結構組成、光刻機的性能指標、光刻機的工藝流程及工作原理。
2017-12-19 13:33:01161176 
光刻機（Mask Aligner） 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。
2018-04-10 09:49:17131483 
今年臺積電、三星及Globalfoundries等公司都會量產7nm工藝，第一代7nm工藝將使用傳統的DUV光刻工藝，二代7nm才會上EUV光刻工藝，預計明年量產。那么存儲芯片行業何時會用上EUV
2018-06-07 14:49:006059 美光CEO Sanjay Mehrotra日前在參加伯恩斯坦年度戰略決策會上回答了有關的工藝問題，在EUV光刻工藝上，他認為EUV光刻機在DRAM芯片制造上不是必須的，直到1α及1β工藝上都也不會用到它。
2018-06-08 14:29:075468 
隨著技術的發展，今年臺積電、三星及Globalfoundries等公司都會量產7nm工藝，下一代將在2020年進入5nm工藝，2022年進入3nm工藝。目前第一代7nm工藝將使用傳統的DUV光刻工藝，預計到5nm工藝將會上EUV光刻工藝。
2018-08-20 17:41:491149 達到理想狀態，EUV工藝還有很長的路要走。在現有的EUV之外，ASML與IMEC比利時微電子中心還達成了新的合作協議，雙方將共同研發新一代EUV光刻機，NA數值孔徑從現有的0.33提高到0.5，可以進一步提升光刻工藝的微縮水平，制造出更小的晶體管。
2018-10-30 16:28:403376 中心還達成了新的合作協議，雙方將共同研發新一代EUV光刻機，NA數值孔徑從現有的0.33提高到0.5，可以進一步提升光刻工藝的微縮水平，制造出更小的晶體管?！ A數值孔徑對光刻機有什么意義？，決定
2018-11-02 10:14:19834 ASML副總裁Anthony Yen表示，ASML已開始開發極紫外（EUV）光刻機，其公司認為，一旦當今的系統達到它們的極限，就將需要使用極紫外光刻機來繼續縮小硅芯片的特征尺寸。
2018-12-09 10:35:077142 光刻機的作用，顧名思義，就是“用光來雕刻的機器”。是用來實現上面說到的“光線侵蝕光刻膠”的目的的。
2019-03-14 14:12:01214098 在半導體制造過程中，最重要的一個過程就是光刻工藝，需要用到光刻機，7nm及以下節點工藝則需要EUV光刻機，目前只有荷蘭ASML公司能生產，每臺售價超過1億歐元，可以說是半導體行業的明珠了，是門檻非常高的先進技術。
2019-07-12 10:38:434279 掌握全球唯一EUV光刻機研發、生產的荷蘭ASML（阿斯麥）公司今天發布了2019年Q2季度財報，當季營收25.68億歐元，其中凈設備銷售額18.51億歐元，總計出貨了41臺光刻機，其中EUV光刻機7臺。
2019-07-18 16:02:003147 
掌握全球唯一EUV光刻機研發、生產的荷蘭ASML（阿斯麥）公司今天發布了2019年Q2季度財報，當季營收25.68億歐元，其中凈設備銷售額18.51億歐元，總計出貨了41臺光刻機，其中EUV光刻機7臺。
2019-07-23 10:47:213102 
格芯首席技術官Gary Patton表示，如果在5nm的時候沒有使用EUV光刻機，那么光刻的步驟將會超過100步，這會讓人瘋狂。所以所EUV光刻機無疑是未來5nm和3nm芯片的最重要生產工具，未來圍繞EUV光刻機的爭奪戰將會變得異常激烈。因為這是決定這些廠商未來在先進工藝市場競爭的關鍵。
2019-09-03 17:18:1812845 
據韓媒報道稱，ASML正積極投資研發下一代EUV光刻機，與現有光刻機相比，二代EUV光刻機最大的變化就是High NA透鏡，通過提升透鏡規格使得新一代光刻機的微縮分辨率、套準精度兩大光刻機核心指標提升70%，達到業界對幾何式芯片微縮的要求。
2019-08-07 11:24:395849 在半導體工藝進入 10nm 節點之后，制造越來越困難，其中最復雜的一步——光刻需要用到 EUV 光刻機了，而后者目前只有荷蘭 ASML 阿斯麥公司才能供應。
2019-12-10 16:04:287122 近些年來EUV光刻這個詞大家應該聽得越來越多，三星在去年發布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工藝打造的芯片，臺積電的7nm+也是他們首次使用EUV光刻的工藝，蘋果的A13
2020-02-29 10:58:473149 近些年來EUV光刻這個詞大家應該聽得越來越多，三星在去年發布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工藝打造的芯片，臺積電的7nm+也是他們首次使用EUV光刻的工藝，蘋果的A13
2020-02-29 11:42:4529308 據中國證券報報道，3月6日下午從中芯國際獲悉，日前中芯國際深圳工廠從荷蘭進口了一臺大型光刻機，但這是設備正常導入，用于產能擴充，并非外界所稱的EUV光刻機。
2020-03-07 10:55:144167 經常聽說，高端光刻機不僅昂貴而且還都是國外的，那么什么是光刻機呢？上篇我們聊了從原材料到拋光晶片的制成過程，今天我們就來聊聊什么是光刻～
2020-03-15 14:46:00227696 在EUV光刻機方面，荷蘭ASML（阿斯麥）公司壟斷了目前的EUV光刻機，去年出貨26臺，創造了新紀錄。據報道，ASML公司正在研發新一代EUV光刻機，預計在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:13:482863 在EUV光刻機方面，荷蘭ASML（阿斯麥）公司壟斷了目前的EUV光刻機，去年出貨26臺，創造了新紀錄。據報道，ASML公司正在研發新一代EUV光刻機，預計在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:21:194670 光刻機是集成電路制造中最精密復雜、難度最高、價格最昂貴的設備，用于在芯片制造過程中的掩膜圖形到硅襯底圖形之間的轉移。集成電路在制作過程中經歷材料制備、掩膜、光刻、刻蝕、清洗、摻雜、機械研磨等多個工序，其中以光刻工序最為關鍵，因為它是整個集成電路產業制造工藝先進程度的重要指標。
2020-03-18 11:00:4172452 光刻機是芯片制造的核心設備之一，作為目前世界上最復雜的精密設備之一，其實光刻機除了能用于生產芯片之外，還有用于封裝的光刻機，或者是用于LED制造領域的投影光刻機。目前，我國高端的光刻機，基本上是從荷蘭ASML進口的。
2020-03-18 11:12:0244388 作為芯片制造的核心設備之一，光刻機對芯片生產的工藝有著決定性影響。 據悉，光刻機按照用途可分為生產芯片的光刻機、封裝芯片的光刻機以及用于LED制造領域的投影光刻機。其中，生產芯片的High End
2020-06-15 08:05:54999 頂級光刻機有多難搞？ASML的光刻機，光一個零件他就調整了10年！拿荷蘭最新極紫外光EUV光刻機舉例，其內部精密零件多達10萬個，比汽車零件精細數十倍！
2020-07-02 09:38:3911513 與此同時， 他指出，EUV繼續為ASML的客戶提高產量，迄今為止，他們的客戶已經使用EUV光刻機曝光了超過1100萬個EUV晶圓，并交付了57個3400x EUV系統（3400平臺是EUV生產平臺）。
2020-08-14 11:20:552048 
作為光刻工藝中最重要設備之一，光刻機一次次革命性的突破，使大模集成電路制造技術飛速向前發展。了解提高光刻機性能的關鍵技術以及了解下一代光刻技術的發展情況是十分重要的。 光刻機 光刻機（Mask
2020-08-28 14:39:0411746 
【重磅】王毅到訪荷蘭，期待放行ASML EUV光刻機 來源：中國半導體論壇 彭博引述知情人士消息稱，荷蘭政府極有可能不會給予ASML向中國出貨EUV光刻機的許可證。一年前的許可證到期后，在美國
2020-09-10 14:19:112577 光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。光刻機是半導體產業中最關鍵設備，光刻工藝決定了半導體線路的線寬，同時也決定了芯片的性能和功耗。
2020-09-30 16:17:135162 
在制造芯片的過程中，光刻工藝無疑最關鍵、最復雜和占用時間比最大的步驟。光刻定義了晶體管的尺寸，是芯片生產中最核心的工藝，占晶圓制造耗時的40％到50％。光刻機在晶圓制造設備投資額中約占23
2020-10-09 15:40:112189 荷蘭阿斯麥（ASML）公司的光刻機作為世界上最貴最精密的儀器，相信大家都有耳聞，它是加工芯片的設備。其最先進的EUV（極紫外光）光刻機已經能夠制造7nm以下制程的芯片，據說一套最先進的7納米EUV
2020-10-15 09:20:054438 ASML的EUV光刻機是目前全球唯一可以滿足22nm以下制程芯片生產的設備，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻機必不可缺。一臺EUV光刻機的售價為1.48億歐元，折合人民幣高達11.74億元
2020-10-19 12:02:499647 
臺積電是第一家將EUV（極紫外）光刻工藝商用到晶圓代工的企業，目前投產的工藝包括N7+、N6和N5三代。
2020-10-22 14:48:561425 ASML公司的EUV光刻機全球獨一份，現在主要是用在7nm及以下的邏輯工藝上，臺積電、三星用它生產CPU、GPU等芯片。馬上內存芯片也要跟進了，SK海力士宣布明年底量產EUV工藝內存。
2020-10-30 10:54:211646 11月5日，世界光刻機巨頭荷蘭阿斯麥ASML亮相第三屆進博會。作為全球唯一能生產EUV（極紫外光）光刻機的企業，由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機，所以此次展示的是其DUV（深紫外光）光刻機。據悉，該產品可生產7nm及以上制程芯片。
2020-11-06 11:27:465517 作為半導體制造中的核心設備，光刻機無疑是芯片產業皇冠上的明珠，特別是先進工藝的光刻機，7nm以下的都要依賴ASML公司，EUV光刻機他們還是獨一份。
2020-11-09 17:11:382195 中國需要光刻機，尤其是支持先進制程的高端光刻機。具體來說，就是 EUV （極紫外光源）光刻機。
2020-11-11 10:13:304278 
據TOMSHARDWARE報道，臺積電表示其部署的極紫外光（EUV）光刻工具已占全球安裝和運行總量的50%左右，這意味著其使用的EUV機器數量超過了業內其他任何一家公司。為了保持領先，臺積電已經下單
2020-11-17 16:03:381827 。 EUV光刻機參與的將是SK海力士的第四代（1a nm）內存，在內存業內，目前的代際劃分是1x、1y、1z和1a。 EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產時間、降低成本，并提高性能。 當然，EUV光刻機實在是香餑餑。唯一的制造商ASML（
2020-11-26 18:23:291761 自從芯片工藝進入到7nm工藝時代以后，需要用到一臺頂尖的EUV光刻機設備，才可以制造7nm EUV、5nm等先進制程工藝的芯片產品，但就在近日，又有外媒豪言：這種頂尖的EUV極紫外光刻機，目前全球
2020-12-03 13:46:226379 更多訣竅，領先對手1到2年。 據悉，三星的1z nm DRAM第三代內存已經用上了一層EUV，第四代1a nm將增加到4層。EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產時間、降低成本，并提高性能。 盡管SK海力士、美光等也在嘗試EUV，但層數過少對
2020-12-04 18:26:542201 荷蘭阿斯麥公司作為掌握光刻機系統集成和整體架構的核心企業，自然成了歐美自家的小棉襖，順利趕上了歐美EUV技術研究發展的風口，投資德國卡爾蔡司，收購美國Cymer光源。集成世界各國頂尖科技的EUV
2020-12-28 09:25:5518165 光刻機（Mask Aligner) 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻，所以叫 Mask Alignment System。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干
2020-12-29 09:14:542095 之前有消息稱，臺積電正在籌集更多的資金，為的是向ASML購買更多更先進制程的EUV光刻機，而這些都是為了新制程做準備。
2020-12-29 09:22:482192 Luc Van den hove表示，IMEC的目標是將下一代高分辨率EUV光刻技術高NA EUV光刻技術商業化。由于此前得光刻機競爭對手早已經陸續退出市場，目前ASML把握著全球主要的先進光刻機產能，近年來，IMEC一直在與ASML研究新的EUV光刻機，目前目標是將工藝規?？s小到1nm及以下。
2020-12-30 09:23:481673 而2018年中芯與ASML簽訂了一項EUV光刻機購買協議，以1.2億美元購買一臺光刻機，但直到現在都沒有交貨，因為沒有拿到出口許可證。
2021-01-08 11:37:512368 呢？OFweek君根據公開資料整理出了一些原因，供讀者參考。 與DUV（深紫外光）光刻機相比，EUV光刻機的吞吐量相對較低，每小時可曝光處理的晶圓數量約在120片－175片之間，技術改進后，速度可以提升至275片每小時。但相對而言，EUV生產效率還是更高，
2021-02-14 14:05:003915 目前，還有ASML有能力生產最先進的EUV光刻機，三星、臺積電都是ASML的客戶。但受《瓦森納協定》的制約，中國大陸沒有從ASML買來一臺EUV光刻機。
2021-01-21 08:56:184078 ASML 2020 年財報數據顯示，去年向中國市場共交付約140臺光刻機 如今我們談到光刻機，大家已經并不陌生了，不會首先產生疑問，這是什么東西？是干什么用的？ 光刻機其實只是用于芯片制造環節
2021-01-21 15:45:033085 在光刻機領域一家獨大的荷蘭光刻機巨頭ASML，占據著芯片行業的頂端，畢竟沒有了他們的設備，想要造出先進工藝制程的芯片是沒戲的。 財報披露，ASML2020年全年凈銷售額140億歐元，毛利率為48.6
2021-01-22 10:38:164677 
ASML公司前兩天發布了財報，全年凈銷售額140億歐元，EUV光刻機出貨31臺，帶來了45億歐元的營收，單價差不多11.4億歐元了。 雖然業績增長很亮眼，但是ASML也有隱憂，實際上EUV光刻機
2021-01-22 17:55:242639 隨著半導體工藝進入10nm節點以下，EUV光刻機成為制高點，之前臺積電搶購了全球多數的EUV光刻機，率先量產7nm、5nm工藝，現在內存廠商也要入場了，SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機。
2021-02-25 09:28:551644 隨著半導體工藝進入10nm節點以下，EUV光刻機成為制高點，之前臺積電搶購了全球多數的EUV光刻機，率先量產7nm、5nm工藝，現在內存廠商也要入場了，SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機
2021-02-25 09:30:232047 隨著半導體工藝進入10nm節點以下，EUV光刻機成為制高點，之前臺積電搶購了全球多數的EUV光刻機，率先量產7nm、5nm工藝，現在內存廠商也要入場了，SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機。
2021-02-25 11:39:091844 中芯國際的芯片工藝目前已發展至14nm，若想將芯片工藝進一步提升至7nm乃至3nm等先進制程，EUV光刻機設備就必不可少。那么，中芯國際此次12億美元的采購協議都有哪些類型的光刻機，包含EUV光刻機嗎？
2021-03-10 14:36:559465 以下內容由對話音頻整理 本期話題 ● EUV光刻機產能如何？ ● 晶圓為什么是圓的？ ● 不同制程的芯片之間有何區別？ ● 什么是邏輯芯片，邏輯芯片又包括哪些？ ● 專用芯片與通用芯片 ● 中科院
2021-03-14 09:46:3023476 日前，ASML產品營銷總監Mike Lercel向媒體分享了EUV（極紫外）光刻機的最新進展。
2021-03-19 09:39:404630 電子發燒友網報道（文/周凱揚）作為近乎壟斷的光刻機巨頭，ASML的EUV光刻機已經在全球頂尖的晶圓廠中獲得了使用。無論是英特爾、臺積電還是三星，EUV光刻機的購置已經是生產支出中很大的一筆，也成了
2021-12-07 14:01:1010742 光刻機又被稱為掩膜對準曝光機，在芯片生產中用于光刻工藝，而光刻工藝又是生產流程中最關鍵的一步，所以光刻機又是芯片生產中不可缺少的設備，總得來說光刻機是用來制造芯片的。
2022-02-06 07:25:0029436 臺積電和三星從7nm工藝節點就開始應用EUV光刻層了，并且在隨后的工藝迭代中，逐步增加半導體制造過程中的EUV光刻層數。
2022-05-13 14:43:202077 
在芯片研發的過程中，光刻機是必不可少的部分，而隨著芯片制程工藝的不斷發展，普通的光刻機已經不能滿足先進制程了，必須要用最先進的EUV光刻機才能完成7nm及其以下的先進制程，而目前臺積電和三星都在攻克
2022-06-28 15:07:126676 中國芯的進步那是有目共睹，我國在光刻機，特別是在EUV光刻機方面，更是不斷尋求填補空白的途徑。
2022-07-05 10:38:3516742 三星電子和ASML就引進今年生產的EUV光刻機和明年推出高數值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機達成采購協議。
2022-07-05 15:26:155634 如今世界最先進的EUV光刻機，只有asml一家公司可以制造出來。
2022-07-06 11:19:3850685 EUV光刻機是在2018年開始出現，并在2019年開始大量交付，而臺積電也是在2019年推出了7nm EUV工藝。
2022-07-07 09:48:444523 大家都知道，芯片制造的核心設備之一就是光刻機了?，F在，全球最先進的光刻機是荷蘭ASML的EUV光刻機，那么euv光刻機目前幾納米呢？ 到現在，世界上最先進的光刻機能夠實現5nm的加工。也就是荷蘭
2022-07-10 11:17:4242766 說到芯片，估計每個人都知道它是什么，但說到光刻，許多人可能不知道它是什么。光刻機是制造芯片的機器和設備。沒有光刻機的話，就無法生產芯片，因此每個人都知道光刻機對芯片制造業的重要性。那么euv光刻機
2022-07-10 11:42:276977 可以生產出納米尺寸更小、功能更強大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻機生產。 EUV光刻機有光源系統、光學鏡頭、雙工作臺系統三大核心技術。 目前，最先進的光刻機是荷蘭ASML公司的EUV光刻機。預計在光路系統的幫助下，能
2022-07-10 14:35:066173 目前，光刻機主要分為EUV光刻機和DUV光刻機。DUV是深紫外線，EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術，EUV使用的是深紫外光刻技術。EUV為先進工藝芯片光刻的發展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1078127 euv光刻機原理是什么 芯片生產的工具就是紫外光刻機，是大規模集成電路生產的核心設備，對芯片技術有著決定性的影響。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻機生產。那么euv光刻機原理是什么呢？ EUV
2022-07-10 15:28:1015099 光刻機是當前半導體芯片產業的核心設備，其技術含量和價值含量都很高。那么euv光刻機用途是什么呢？下面我們就一起來看看吧。 光刻設備涉及系統集成、精密光學、精密運動、精密材料傳輸、高精度微環境控制
2022-07-10 16:34:403116 光刻是半導體工藝中最關鍵的步驟之一。EUV是當今半導體行業最熱門的關鍵詞，也是光刻技術。為了更好地理解 EUV 是什么，讓我們仔細看看光刻技術。
2022-10-18 12:54:053180 電子發燒友網報道（文/周凱揚）盡管ASML作為目前占據主導地位的光刻機廠商，憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵，主導著半數以上的市場份額，但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機
2022-11-24 07:10:033222 電子發燒友網報道（文/ 周凱揚 ）到了3nm這個工藝節點之后，單靠現有的0.33NA EUV光刻機就很難維系下去了。 為了實現2nm乃至未來的埃米級工藝，將晶體管密度推向1000MTr/mm2，全面
2022-12-07 07:25:02952 光刻機可分為前道光刻機和后道光刻機。光刻機既可以用在前道工藝，也可以用在后道工藝，前道光刻機用于芯片的制造，曝光工藝極其復雜，后道光刻機主要用于封裝測試，實現高性能的先進封裝，技術難度相對較小。
2023-06-09 10:49:205860 
半導體制造工藝之光刻工藝詳解
2023-08-24 10:38:541223 
三星D1a nm LPDDR5X器件的EUV光刻工藝
2023-11-23 18:13:02579 
光刻機經歷了5代產品發展，每次改進和創新都顯著提升了光刻機所能實現的最小工藝節點。按照使用光源依次從g-line、i-line發展到KrF、ArF和EUV；按照工作原理依次從接觸接近式光刻機發展到浸沒步進式投影光刻機和極紫外式光刻機。
2024-03-21 11:31:4143 
了。 ? 芯片制造離不開光刻機，特別是在先進制程上，EUV光刻機由來自荷蘭的ASML所壟斷。同時，盡管目前市面上，EUV光刻機客戶僅有三家，但需求不斷增加的情況底下，EUV光刻機依然供不應求。 ? 針對后3nm時代的芯片制造工藝，High-NA（高數值孔徑）EUV光刻機
2022-06-29 08:32:004635 
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