完善資料讓更多小伙伴認識你，還能領取20積分哦，立即完善>
標簽 > MOCVD
MOCVD是在氣相外延生長（VPE）的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。
MOCVD是在氣相外延生長（VPE）的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。系統簡介編輯定義MOCVD是在氣相外延生長（VPE）的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術?？s寫Metal-organic Chemical Vapor Deposition （金屬有機化合物化學氣相沉淀）。原理MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。通常MOCVD系統中的晶體生長都是在常壓或低壓（10-100Torr）下通H2的冷壁石英（不銹鋼）反應室中進行，襯底溫度為500-1200℃，用射頻感應加熱石墨基座（襯底基片在石墨基座上方），H2通過溫度可控的液體源鼓泡攜帶金屬有機物到生長區。
MOCVD是在氣相外延生長（VPE）的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。系統簡介編輯定義MOCVD是在氣相外延生長（VPE）的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術?？s寫Metal-organic Chemical Vapor Deposition （金屬有機化合物化學氣相沉淀）。原理MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。通常MOCVD系統中的晶體生長都是在常壓或低壓（10-100Torr）下通H2的冷壁石英（不銹鋼）反應室中進行，襯底溫度為500-1200℃，用射頻感應加熱石墨基座（襯底基片在石墨基座上方），H2通過溫度可控的液體源鼓泡攜帶金屬有機物到生長區。
系統概況編輯組成因為MOCVD生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質，并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質材料。因此在MOCVD系統的設計思想上，通常要考慮系統密封性，流量、溫度控制要精確，組分變換要迅速，系統要緊湊等。不同廠家和研究者所產生或組裝的MOCVD設備是不同的。 一般由 源供給系統 、氣體輸運和流量控制系統、反應室及溫度控制系統、尾氣處理及安全防護報警系統、自動操作及電控系統?！驹垂┙o系統】包括Ⅲ族金屬有機化合物、V族氫化物及摻雜源的供給。金屬有機化合物裝在特制的不銹剛的鼓泡器中，由通入的高純H2攜帶輸運到反應室。為了保證金屬有機化合物有恒定的蒸汽壓，源瓶置入電子恒溫器中，溫度控制精度可達0.2℃以下。氫化物一般是經高純H2稀釋到濃度5%一10%后，裝入鋼瓶中，使用時再用高純H2稀釋到所需濃度后，輸運到反應室。摻雜源有兩類，一類是金屬有機化合物，另一類是氫化物，其輸運方法分別與金屬有機化合物源和氫化物源的輸運相同?！練怏w輸運系統】氣體的輸運管都是不銹鋼管道。為了防止存儲效應，管內進行了電解拋光。管道的接頭用氫弧焊或VCR及Swagelok方式連接，并進行正壓檢漏及Snoop液體或He泄漏檢測，保證反應系統無泄漏是MOCVD設備組裝的關鍵之一。流量是由不同量程、響應時間快、精度高的質量流量計和電磁閥、氣動閥等來實現。在真空系統與反應室之間設有過濾器，以防油污或其它顆粒倒吸到反應室中。為了迅速變化反應室內的反應氣體，而且不引起反應室內壓力的變化，設置“run”和“vent，，管道?！痉磻液图訜嵯到y】反應室是由石英管和石墨基座組成。為了生長組分均勻、超薄層、異質結構的化合物半導體材料，各生產廠家和研究者在反應室結構的設計上下了很大功夫，設計出了不同結構的反應室。石墨基座是由高純石墨制成，并包裹SIC層。加熱多采用高頻感應加熱，少數是輻射加熱。由熱電偶和溫度控制器來控制溫度，一般溫度控制精度可達到0.2℃或更低?！疚矚馓幚硐到y】反應氣體經反應室后大部分熱分解，但還有部分尚未完全分解，因此尾氣不能直接排放到大氣中，必須先進行處理，處理方法主要有高溫熱解爐再一次熱分解，再用硅油或高錳酸鉀溶液處理;也可以把尾氣直接通入裝有H2SO4+H2O及裝有NaOH溶液的吸濾瓶處理;也有的把尾氣通入固體吸附劑中吸附處理，以及用水淋洗尾氣等?！景踩Ｗo及報警系統】為了安全，一般的MOCVD系統還備有高純從旁路系統，在斷電或其它原因引起的不能正常工作時，通入純N2保護生長的片子或系統內的清潔。在停止生長期間也有常通高純N2保護系統?！臼謩雍妥詣涌刂葡到y】一般MOCVD設備都具有手動和微機自動控制操作兩種功能。在控制系統面板上設有閥門開關、各個管路氣體流量、溫度的設定及數字顯示，如有問題會自動報警，是操作者能及時了解設備運轉的情況。此外，MOCVD設備一般都設在具有強排風的工作室內。優點1 適用范圍廣泛，幾乎可以生長所有化合物及合金半導體;2 非常適合于生長各種異質結構材料;3 可以生長超薄外延層，并能獲得很陡的界面過渡;4 生長易于控制;5 可以生長純度很高的材料;6 外延層大面積均勻性良好;7 可以進行大規模生產。
國內外發展編輯中國MOCVD系統發展2012年12月12號，中國首臺具有世界先進水平的大型國產MOCVD設備發運慶典在張江高新區核心園舉行。作為LED芯片生產過程中最為關鍵的設備，MOCVD的核心技術長期被歐美企業所壟斷，嚴重制約了中國LED產業的健康發展。中晟光電設備上海有限公司于2012年1月18日成功實現了擁有自主創新知識產權的具有世界先進水平的大型國產MOCVD設備下線，僅用了10個月時間，又完成了工藝的開發和設備進一步的改進優化，完成了設備產業化生產必備條件與設施的建立；在此基礎上又完成了4家客戶的多次實地考察，親臨操作設備和驗證各項工藝?？蛻舫浞挚隙酥嘘稍O備的技術方向和設計上的世界先進性，也對設備用于大規模生產提出了進一步改進的建設性要求。使該設備同時具有目前世界上最高的系統產能、最低的外延生產成本、良好的波長均勻性、大規模外延生產所需的各項關鍵性能等4項核心的差異競爭力。這次我國首臺具有世界先進水平的大型國產MOCVD設備成功發運，不僅標志著在實現中國大型MOCVD設備國產化戰略目標的征途上，中晟邁開了具有里程碑意義的一步，而且充分體現了中國有能力在高端裝備領域實現跨越式的發展。國外MOCVD系統發展隨著化合物半導體器件（如 GaAs MMIC、 InP MMIC以及GaN藍光LED）市場的不斷擴大，MOCVD系統的需求量不斷增長。國際上實力最為雄厚的MOCVD系統制造商有：德國Aixtron公司、美國的Emcore公司（其MOCVD已被Veeco兼并）、英國的Thomass~（1999年被Aixtron兼并）等。因為MOCVD系統最關鍵的問題就是保證材料生長的均勻性和重復性，因此不同廠家的MOCVD系統最主要的區別在于反應室結構。Aixtron采用行星反應（Planetary Reactor），Emcore采用TurboDisc反應室（該業務己出售給Veeco公司）、Thomas Swan（該公司于2003年2月份被Aixtron兼并）采用 Closed Coupled Showerhead（CCS）反應室。國內擁有的進口MOCVD系統700臺左右，其中 Aixtron MOCVD系統和Emcore MOCVD系統占絕大多數，有少量的 Thomas Swan MOCVD系統、法國ASM MOCVD系統和日本RIPPON SANSO MOCVD系統，主要用于GaN LD/LED的研究和制造。
同為第三代半導體材料，氮化鎵時常被人用來與碳化硅作比較，雖然沒有碳化硅發展的時間久，但氮化鎵依舊憑借著禁帶寬度大、擊穿電壓高、熱導率大、飽和電子漂移速度...
固態升華法（Sublimation） 固態前驅體在加熱容器中被加熱至其升華點，從固態直接轉化為氣態。升華后的前驅體以氣態形式通過載氣輸送到反應室即可...
一種能夠在日光下工作而不受可見光干擾的紫外光探測器。日盲紫外探測器對可見光具有很低的響應，在環境監測、太陽輻射測量、航天科學、太陽能電池優化和軍事應用等...
第三代半導體設備 第三代半導體設備主要為SiC、GaN材料生長、外延所需的特種設備，如SiC PVT單晶生長爐、CVD外延設備以及GaN HVPE單...
通常是指的在藍寶石襯底上用外延的方法（MOCVD）生長的GaN。外延片上面一般都已經做有u-GaN，n-GaN，量子阱，p-GaN。
氮化鎵（GaN）是氮和鎵化合物，具體半導體特性，早期應用于發光二極管中，其具有寬帶隙、高熱導率等特點，寬禁帶半導體是高溫、高頻、抗輻射及大功率器件的適合...
什么是Micro-LED？Micro-LED的顯示原理是什么？
Micro LED的英文全名是Micro Light Emitting Diode，中文稱作微發光二極體，也可以寫作μLED
澳大利亞的BluGlass公司聲稱使用他們的低溫遠程等離子體化學氣相沉積（RPCVD）技術可以產生理想純度的氮化鎵（GaN）。該公司說，他們的RPCVD...
天龍光電首臺MOCVD設備的交貨進展一直備受業內關注。公司將在這個月底發貨給客戶，并將于下個月在用戶端開始設備安裝、調試。
隨著LED照明市場的起飛，加上中國政府大力推行節能補助，帶動陸廠大舉擴增LED上游晶粒產能，自2011年起陸廠約新增420臺MOCVD機臺，總機數達72...
中微公司持續發力半導體設備，5-10年內目標占據50%-60%集成電路市場
其中，刻蝕設備銷售額約47.03億元，同比增長49.43%；而MOCVD設備銷售額則約4.62億元，同比下滑33.95%。自2012年以來，中微公司的年...
中國上海，2024年2月4日—— 中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“本公司”）注意到，2024年1月31日（美國時間，下同）美國國防部根據《...
半導體資料丨氧化鋅、晶體硅/鈣鈦礦、表面化學蝕刻的 MOCVD GaN
蝕刻時間和過氧化氫濃度對ZnO玻璃基板的影響 本研究的目的是確定蝕刻ZnO薄膜的最佳技術。使用射頻濺射設備在玻璃基板上沉積ZnO。為了蝕刻ZnO薄膜，使...
近年，IQE開始涉足Micro LED領域，IQE擁有豐富的MOCVD外延生長技術儲備及規?；a的能力，可滿足制備微米級高亮Micro LED的需求。
近日，山東華光光電子股份有限公司發布2款新產品，經山東電子學會組織專家進行鑒定，被評價為國際領先和國內領先水平，進一步完善了公司的產品種類布局，拓展了新...
上海2022年10月25日 /美通社/ -- 10月25日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱"中微公司"，上交所股票代碼...
第四屆第三代半導體材料及裝備發展研討會在青島成功舉辦。中微公司參加了此次研討會，并受邀發表主題演講，與產業鏈上下游、設備及關鍵零部件研究、生產單位專家代...
在LED顯示屏領域，企業想要獲得盈利就要保持20%以上的毛利潤。行業利潤走低，降低LED的使用成本成為了企業獲利的重要方式。 LED器件的制造成本相對硅...
中微公司2022年第一季度收入9.49億元同比增長57.31%
? ? ? 中微公司2022年 第一季度財務報告 AMEC 2022 Q1 Report 中微公司于4月28日發布2022年第一季度財務報告，摘要如下：...
在近日發布的長光華芯招股說明書中，我們可以發現華為哈勃投資入股了長光華芯，持有其4.98%股份。華為布局激光雷達產業鏈的目的不言而喻，也使得長光華芯有望...
換一批
編輯推薦廠商產品技術軟件/工具OS/語言教程專題
| 電機控制 | DSP | 氮化鎵 | 功率放大器 | ChatGPT | 自動駕駛 | TI | 瑞薩電子 |
| BLDC | PLC | 碳化硅 | 二極管 | OpenAI | 元宇宙 | 安森美 | ADI |
| 無刷電機 | FOC | IGBT | 逆變器 | 文心一言 | 5G | 英飛凌 | 羅姆 |
| 直流電機 | PID | MOSFET | 傳感器 | 人工智能 | 物聯網 | NXP | 賽靈思 |
| 步進電機 | SPWM | 充電樁 | IPM | 機器視覺 | 無人機 | 三菱電機 | ST |
| 伺服電機 | SVPWM | 光伏發電 | UPS | AR | 智能電網 | 國民技術 | Microchip |
| 開關電源 | 步進電機 | 無線充電 | LabVIEW | EMC | PLC | OLED | 單片機 |
| 5G | m2m | DSP | MCU | ASIC | CPU | ROM | DRAM |
| NB-IoT | LoRa | Zigbee | NFC | 藍牙 | RFID | Wi-Fi | SIGFOX |
| Type-C | USB | 以太網 | 仿真器 | RISC | RAM | 寄存器 | GPU |
| 語音識別 | 萬用表 | CPLD | 耦合 | 電路仿真 | 電容濾波 | 保護電路 | 看門狗 |
| CAN | CSI | DSI | DVI | Ethernet | HDMI | I2C | RS-485 |
| SDI | nas | DMA | HomeKit | 閾值電壓 | UART | 機器學習 | TensorFlow |
| Arduino | BeagleBone | 樹莓派 | STM32 | MSP430 | EFM32 | ARM mbed | EDA |
| 示波器 | LPC | imx8 | PSoC | Altium Designer | Allegro | Mentor | Pads |
| OrCAD | Cadence | AutoCAD | 華秋DFM | Keil | MATLAB | MPLAB | Quartus |
| C++ | Java | Python | JavaScript | node.js | RISC-V | verilog | Tensorflow |
| Android | iOS | linux | RTOS | FreeRTOS | LiteOS | RT-THread | uCOS |
| DuerOS | Brillo | Windows11 | HarmonyOS |
關注我們的微信
下載發燒友APP
電子發燒友觀察
版權所有 ? 湖南華秋數字科技有限公司
電子發燒友 （電路圖） 湘公網安備43011202000918 電信與信息服務業務經營許可證：合字B2-20210191
工商網監
湘ICP備 2023018690 號
