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標簽　>　MEMS壓力傳感器

MEMS壓力傳感器

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　　MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時變形?？梢岳脩儍x（壓阻型感測）來測量這種形變，也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監測系統使用比較結實的壓阻方法。

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MEMS壓力傳感器簡介

　　MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統壓力感測，通常用于自動裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動系統。德國廠商推出了一款MEMS解決方案，使用油來保護硅薄膜，使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化，當時使用的是多孔硅，帶來了高度可靠的MEMS器件，這些器件已用于目前的側面氣囊等應用之中。

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mems壓力傳感器知識

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