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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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Melexis推出采用Triphibian技術的壓力傳感器芯片MLX90830
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芯動聯科MEMS傳感器芯片已達到導航級精度,是目前國產最優性能的硅基MEMS慣性傳感器,主要技術指標與國際主流廠商處于同一梯隊,在高性能硅基MEMS慣性...
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隨著全球能源危機和環境問題的加劇,人們對清潔能源的需求日益增加。氫作為一種來源豐富、綠色低碳、高效的應用廣泛的二次能源成為了人們關注的焦點之一。在能源領...
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