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ZnO上ZnCdO的選擇性濕法刻蝕 南通華林科納

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2022-07-06 16:00:211643

晶圓的濕法蝕刻法和清潔度

本文介紹了我們華林科納在半導體制造過程中進行的濕法蝕刻過程和使用的藥液,在晶圓表面,為了形成LSI布線,現在幾乎所有的半導體器件都使用干蝕刻方式,這是因為干法蝕刻與濕法蝕刻相比,各向異性較好,對于形成細微的布線是有利的。
2022-07-06 16:50:321539

常見的各向同性濕法刻蝕的實際應用

(也稱為 HNA 腐蝕劑);對硅的刻蝕速率和對掩模材料的刻蝕選擇性可通過各組分比例的不同來調節。目前,各向同性濕法刻蝕的實際應用較少。
2022-10-08 09:16:323581

選擇性波峰焊介紹

選擇性波峰焊的出現主要是為了替代傳統的手工焊接,主要用于PCB板其他元器件組裝完成后對個別插腳元器件進行焊接。選擇性波峰焊的優點是它的適用性很強,可以點焊、線焊和雙面焊接,可以很好的焊接不同位
2022-10-18 15:52:093882

濕法刻蝕和清洗(Wet Etch and Cleaning)

濕法刻蝕是集成電路制造工藝最早采用的技術之一。雖然由于受其刻蝕的各向同性的限制,使得大部分的濕法刻蝕工藝被具有各向異性的干法刻蝕替代,但是它在尺寸較大的非關鍵層清洗中依然發揮著重要的作用。
2022-11-11 09:34:187251

嵌入式源漏選擇性外延(Embedded Source and Drain Selective Epitaxy)

源漏選擇性外延一般采用氮化硅或二氧化硅作為硬掩模遮蔽層,利用刻蝕氣體抑制遮蔽層上的外延生長,僅在曝露出硅的源漏極區域實現外延生長。
2022-11-29 16:05:151708

濕法和干法刻蝕圖形化的刻蝕過程討論

刻蝕是移除晶圓表面材料,達到IC設計要求的一種工藝過程。刻蝕有兩種:一種為圖形 化刻蝕,這種刻蝕能將指定區域的材料去除,如將光刻膠或光刻版上的圖形轉移到襯底薄膜 上
2023-02-01 09:09:351748

濕法刻蝕工藝的流程包括哪些?

濕法刻蝕利用化學溶液溶解晶圓表面的材料,達到制作器件和電路的要求。濕法刻蝕化學反應的生成物是氣體、液體或可溶于刻蝕劑的固體。
2023-02-10 11:03:184085

華林科納濕電子化學品工作站為濕法制程研究保駕護航

前言 濕法制程工藝即制造過程中需要使用化學藥液的工藝,被廣泛使用于集成電路、平板顯示、太陽能光伏等領域的制造過程中。以集成電路領域為例,晶圓制造過程中,去膠、顯影、刻蝕、清洗都屬于濕法
2023-02-22 17:07:00371

半導體刻蝕工藝簡述(3)

對于濕法刻蝕,大部分刻蝕的終點都取決于時間,而時間又取決于預先設定的刻蝕速率和所需的刻蝕厚度。由于缺少自動監測終點的方法,所以通常由操作員目測終點。濕法刻蝕速率很容易受刻蝕劑溫度與濃度的影響,這種影響對不同工作站和不同批量均有差異,因此單獨用時間決定刻蝕終點很困難,一般釆用操作員目測的方式。
2023-03-06 13:56:031773

半導體行業之刻蝕工藝介紹

壓力主要控制刻蝕均勻性和刻蝕輪廓,同時也能影響刻蝕速率和選擇性。改變壓力會改變電子和離子的平均自由程(MFP),進而影響等離子體和刻蝕速率的均勻性。
2023-04-17 10:36:431922

金屬濕法刻蝕

但是,HCl為基體的刻蝕溶液,會嚴重地侵蝕Ni(Pt)Si或Ni(Pt)SiGe,使金屬硅化物阻值升高。這就要求有一種刻蝕劑是無氯基體,而且對Ni(Pt)Si或Ni(Pt)SiGe無傷害、對金屬選擇性又高。這就是目前常用的高溫硫酸和雙氧水混合液
2023-05-29 10:48:271462

晶片濕法刻蝕方法

刻蝕硅,硅的均勻剝離,同時帶走表面顆粒。隨著器件尺寸縮減會引入很多新材料(如高介電常數和金屬柵極),那么在后柵極制程,多晶硅的去除常用氫氧化氨或四甲基羥胺(TMAH)溶液,制程關鍵是控制溶液的溫度和濃度,以調整刻蝕對多晶硅和其他材料的選擇比。
2023-06-05 15:10:011598

重點闡述濕法刻蝕

光刻工藝后,在硅片或晶圓上形成了光刻膠的圖形,下一步就是刻蝕。
2023-06-08 10:52:353321

華林科納參展產品丨溫度傳感器(PT100)

5月18日-5月19日,由華林科納舉辦的2023泛半導體濕法交流會第五期:化學流體系統技術與應用交流會在江蘇南通市成功召開。會議共邀請42家企業參會,參會人員96人。本期交流會安排了學術技術交流報告、流體展示及實操等多種形式的活動,交流高純流體在濕法領域的技術與應用,并展示了超100種高純流體產品。
2023-06-09 17:30:34418

半導體前端工藝:刻蝕——有選擇性刻蝕材料,以創建所需圖形

在半導體制程工藝中,有很多不同名稱的用于移除多余材料的工藝,如“清洗”、“刻蝕”等。如果說“清洗”工藝是把整張晶圓上多余的不純物去除掉,“刻蝕”工藝則是在光刻膠的幫助下有選擇性地移除不需要的材料,從而創建所需的微細圖案。半導體“刻蝕”工藝所采用的氣體和設備,在其他類似工藝中也很常見。
2023-06-15 17:51:571181

劃片機:晶圓加工第四篇—刻蝕的兩種方法

:使用特定的化學溶液進行化學反應來去除氧化膜的濕法刻蝕,以及使用氣體或等離子體的干法刻蝕。1、濕法刻蝕使用化學溶液去除氧化膜的濕法刻蝕具有成本低、刻蝕速度快和生產率高
2022-07-12 15:49:251454

華林科納攜濕法垂直領域平臺與您相見SEMICON China 2023

國內半導體產業的行業盛會將在上海如期舉行,華林科納將為您帶來超全面且領先的濕法解決方案,并攜泛半導體濕法裝備服務平臺亮相SEMICON China,與上下游企業進行一對一交流,為企業發展瓶頸找到
2023-07-04 17:01:30251

華林科納參展產品丨溫度傳感器(PT100)

華林科納舉辦的2023泛半導體濕法交流會第五期:化學流體系統技術與應用交流會在江蘇南通市成功召開。會議共邀請42家企業參會,參會人員96人。本期交流會安排了學術技術交流報告、流體展示
2023-07-14 08:47:03357

刻蝕工藝主要分為哪幾種類型 刻蝕的目的是什么?

PVP可以在刻蝕過程中形成一層保護性的膜,降低刻蝕劑對所需刻蝕材料的腐蝕作用。它可以填充材料表面的裂縫、孔洞和微小空隙,并防止刻蝕劑侵入。這樣可以減少不需要的蝕刻或損傷,提高刻蝕選擇性。
2023-08-17 15:39:392859

化學品酸堿輸送供應管道為什么要選擇華林科納PFA管?

很多半導體、光伏行業的制造企業在選擇化學品酸堿輸送供應管道時,都喜歡選擇華林科納的高純PFA管,選擇華林科納生產的高純PFA管作為化學品酸堿輸送供應管道有以下幾個重要原因: 1、優異的化學穩定性
2023-09-13 17:29:48266

干法刻蝕濕法刻蝕各有什么利弊?

在半導體制造中,刻蝕工序是必不可少的環節。而刻蝕又可以分為干法刻蝕濕法刻蝕,這兩種技術各有優勢,也各有一定的局限性,理解它們之間的差異是至關重要的。
2023-09-26 18:21:003307

什么是刻蝕選擇性?刻蝕選擇比怎么計算?受哪些因素的影響呢?

刻蝕(或蝕刻)是從晶圓表面去除特定區域的材料以形成相應微結構。但是,在目標材料被刻蝕時,通常伴隨著其他層或掩膜的刻蝕。
2023-10-07 14:19:252073

半導體前端工藝(第四篇):刻蝕——有選擇性刻蝕材料,以創建所需圖形

半導體前端工藝(第四篇):刻蝕——有選擇性刻蝕材料,以創建所需圖形
2023-11-27 16:54:26256

濕法刻蝕液的種類與用途有哪些呢?濕法刻蝕用在哪些芯片制程中?

濕法刻蝕由于成本低、操作簡單和一些特殊應用,所以它依舊普遍。
2023-11-27 10:20:17454

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