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電子發燒友網>電子資料下載>工控技術>多晶硅鑄錠爐的裝料問題解析

多晶硅鑄錠爐的裝料問題解析

2017-10-20 | rar | 0.57 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  多晶硅鑄錠的裝料是一個很關鍵的過程,這個過程常常被忽視。但對于多晶硅提純和鑄錠來說,這個過程有任何疏忽,都會導致鑄錠失敗,甚至會釀成嚴重的事故。

  首先,要注意硅料運送和處理過程中的防污染。硅料從前道工序來的時候,一定要注意包裝和保護,不能有任何污染的機會。這些污染源包括:外物掉入、肉體接觸、臟的手套或工具接觸、不潔的包裝或容器、空氣中的灰塵、等等。因此,硅料的運送和儲存是一個非常嚴格的過程,不能有任何馬虎,其對于潔凈度的要求,要比食品或藥品要高得多。

  其次,在裝料的過程中,一定要注意不能將坩堝損壞。坩堝是石英陶瓷的,其強度很脆,很容易在硅塊的撞擊下碎裂。要是真的碎裂還是幸運的,因為能夠當場發現,至多坩堝報廢,損失幾千元。但絕大多數情況下,坩堝發生的是隱裂,這時,根本無法發現,這樣的隱裂在生產過程中會直接導致漏硅事故,而導致爐體損壞,可能就是幾萬甚至幾十萬元的損失。因此,就要求我們裝料的時候要十分小心,輕拿輕放,不能為了多裝料而用力向下壓或砸硅料。

  第三,對于一些鑄錠坩堝,表面有氮化硅涂層作為脫模劑。雖然經過燒結,這些涂層依然十分脆弱。稍有碰撞就會脫落,一旦脫落就失去了涂層的作用,導致硅料與坩堝戰粘結而導致硅錠破裂。對于有涂層的坩堝需要仔細地裝料,通常需要在接觸坩堝的四壁和底部放置一些板狀或片狀硅材料,以免塊料的尖角刮壞涂層。

  第四,裝料時,工人要穿著防汗服,戴雙層乳膠手套,戴口罩和帽子,決不能用手指直接接觸硅料。要嚴禁有汗滴掉入硅料里,也不能打噴嚏。這些都會對硅料產生非常嚴重的污染。為了避免出汗,則應當在涼爽的地方裝料,或者向裝料人員提供冷風機。裝料時,絕對不能摘下口罩和帽子,手套如果被硅劃破,必須更換。更換過的手套不得再次使用。

  第五,許多工廠設立了裝料室,提供空調,這樣可以改善裝料條件,使工人能夠更加從容地裝料。在裝料室將料裝入坩堝后,再通過送料機構送入爐內。裝滿料的坩堝在運送時要加以十倍的小心。任何一個輕微的震動,就會導致坩堝發生破裂或隱裂。因此,必須保證百分之百的平穩運送。裝料的坩堝在運送時,底部一定要有柔性的墊子,吸收掉萬一不慎的震動對坩堝的沖擊。

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