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差動電容傳感器越來越廣泛地應用于諸如壓力、
加速度、直線位移、轉角等物理量的測量，其電路結構
依測量要求不同而不同．但其基本原理都是和用比斜
信號處理法以傳感器電容容量的變化來反映被測量的
變化．電容變化可 是線性或非線性的。利用比倒信號
處理法可 實現棱測量的精確．線性檢測。所謂比例信
號處理法即用傳感器中兩電容之差與兩電容之和的比
值來線性地反映棱測量。因此需要專門的信號處理電
路將傳感器電容變化轉換為易于檢測的電量，已經出
現的技術方法有開關一電容(s／c)法，模數轉換(A／
D)法、電容、頻率轉換法、電容相位轉換法等，其中適
用于CMOS集成電路的SIC 法由于時鐘饋線的影響
精度較低，C／F法可rJ選到很高的精度，但由于需要微
處理器來進行比斜運鋒而難以滿足時實時、快速的要
求。近年來，^ 們在提高精度和速度方面不斷探索，提
出了各種提高精度和速度的方法。下面介紹兩種實用
的高精度、高速度差動電容傳感器信號處理電路。
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