資料介紹
摘要: 針對傳統結構超結 IGBT 器件在大電流應用時(shí)的電導調制效應較弱,削弱了 IGBT 器 件低飽和導通壓降優(yōu)點(diǎn)的問(wèn)題,設計了 p 柱浮空的超結 IGBT 器件 ( FP-SJ-IGBT) 。采用深槽刻 蝕和回填工藝制備了 p 柱和 p 體區分離的超結 IGBT 器件。測試結果表明,該器件擊穿電壓高于 660 V,在導通電流 20 A 時(shí),其飽和導通壓降為 1. 7 V,相比于傳統超結 IGBT 器件更低,關(guān)斷 能量為 0. 23 mJ,遠低于傳統超結 IGBT 器件的 3. 3 mJ,較低的導通壓降和關(guān)斷能量使得 FP-SJIGBT 器件的電流密度可達 449 A/cm2 。此外,在 400 V 直流母線(xiàn)電壓下,FP-SJ-IGBT 器件具有 不低于 10 μs 的短路時(shí)間。
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