資料介紹
新的 DFM 設計流程使用了明導的Calibre YieldAnalyzer 在所有的版圖設計層進(jìn)行關(guān)鍵區域分析(CAA)。CAA 能夠找出易發(fā)生因為隨機微粒所造成的版圖布局短路或斷路缺陷的區域。Calibre YieldAnalyzer 也進(jìn)行關(guān)鍵特征分析(CFA),對傳統建議的規則進(jìn)行擴大分析。YieldAnalyzer 使用了一個(gè)基于模型的方法來(lái)自動(dòng)把布局幾何測量參數填入良品率公式來(lái)確定布局設計中對制造工藝的變異窗口具有高敏感度的區域。之后YieldAnalyzer 就把結果數據以便于理解的圖表形式呈現給工程師。舉例來(lái)說(shuō),CFA 分析能夠確定由于工藝變異所引起的系統性問(wèn)題的熱點(diǎn),這些問(wèn)題包括光刻、CMP、阻抗穩定性和蝕刻特性。YieldAnalyzer 為設計師提供專(zhuān)門(mén)指導使他們能夠快速確定熱點(diǎn),并進(jìn)行優(yōu)先級的評級,來(lái)決定對布局層做怎樣的改動(dòng)可以最大程度的提高良品率。
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