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激光干涉儀-簡介
激光干涉儀
以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統（見激光測長技術）測量位移的通用長度測量工具。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的，最初用于檢定基準線紋尺，后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態（溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59％、C O2含量0.03％）下的測量精確度很高，可達1×10-7。
激光干涉儀-基本原理
激光干涉儀原理
激光器的出現，使古老的干涉技術得到迅速發展，激光具有亮度高、方向性好、單色性及相干性好等特點，激光干涉測量技術已經比較成熟。激光干涉測量系統應用非常廣泛：精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測；精密儀器中的定位檢測系統如精密機械的控制、校正；大規模集成電路專用設備和檢測儀器中的定位檢測系統；微小尺寸的測量等。
在大多數激光干涉測長系統中，都采用了邁克爾遜干涉儀或類似的光路結構。
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