對于阿斯麥(ASML)來說,他們正在研發更先進的***,這也是推動芯片工藝繼續前行的重要動力。
ASML是全球目前唯一能制造極紫外***的廠商,其在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C這兩款極紫外***之后,還在研發更先進、效率更高的極紫外***。
從外媒的報道來看,除了NXE:3600D,阿斯麥還在研發高數值孔徑的極紫外***NXE:5000系列,設計已經基本完成。
外媒在報道中也表示,雖然阿斯麥NXE:5000高數值孔徑極紫外***的設計已基本完成,但商用還需時日,預計在2022年開始商用。
作為一款高數值孔徑的極紫外***,NXE:5000系列的數值孔徑,將提高到0.55,阿斯麥目前已推出的TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C這兩款極紫外***,數值孔徑為0.33。
在不久前舉辦的線上活動中,歐洲微電子研究中心IMEC首席執行官兼總裁Luc Van den hove在線上演講中表示,在與ASML公司的合作下,更加先進的***已經取得了進展。
Luc Van den hove表示,IMEC的目標是將下一代高分辨率EUV光刻技術高NA EUV光刻技術商業化。由于此前得***競爭對手早已經陸續退出市場,目前ASML把握著全球主要的先進***產能,近年來,IMEC一直在與ASML研究新的EUV***,目前目標是將工藝規??s小到1nm及以下。
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