如何實現壓阻式壓力傳感器溫度的補償方法

　　壓阻式壓力傳感器具有精度高，靈敏度高，穩定性好、頻率響應范圍寬、易于小型化，便于批量生產與使用方便等特點，是一種發展迅速，應用廣泛的新型傳感器。但是由于半導體的溫度特性，壓阻式壓力傳感器會發生溫度漂移，在相當程度上限制了壓阻式壓力傳感器的應用。論文針對壓阻式壓力傳感器在測量當中易發生溫度漂移的缺點，研制了一種智能化的壓阻式傳感器溫度補償系統。該方法利用現代信號調理技術，以溫度調理芯片為核心元件，采用計算機通過三次樣條插值法對采集的溫度補償參數進行

　　擬合，從而實現了對壓阻式壓力傳感器溫度漂移的高精度補償。而且由于引入了高性能的單片機控制模塊，使得此系統一次性可對多個壓阻式壓力傳感器進行溫度補償。論文的主要工作如下：

　　1.對壓阻式壓力傳感器產生溫度漂移原理進行了分析，深入分析了國內外對擴散硅壓力傳感器溫度補償的方法，總結利弊，確定了以數字化的溫度調理芯片為主體的補償方案。

　　2.深入研究了MAX1452溫度調理芯片的補償原理，制定了系統的設計方案，完成傳感器補償原理的推導論證工作。

　　3.根據總體設計要求劃分溫度補償系統的各個功能模塊，并確定各個模塊的具體實現方案，以及繪制硬件電路板。

　　4.針對MAX1452的補償原理進行軟件開發，設計傳感器溫度漂移的補償流程。通過VC+ACCESS數據庫的方式實現了高效的用戶界面，并采用三次樣條曲線對補償參數進行擬合。

　　5.針對單片機控制模塊，在MPLAB8.30開發環境下，完成程序的開發，實現了對多路傳感器補償模塊的控制。

　　6.利用此補償系統對傳感器進行補償并對其溫度漂移測試，實驗表明，補償后的傳感器非線性誤差小于0.8%F.S，輸出信號的溫度漂移比補償之前降低了一個數量級。