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在微運動系統中，驅動器是實施微運動的關鍵部件，為了實現高精度的微運動，必須具備高運動精度和高定位精度的驅動器，因此，驅動器技術是微運動系統的核心技術。目前已經涌現出很多種微運動系統，概括國內外微運動系統驅動器技術，從驅動原理和方式上看，主要驅動形式有壓電驅動、形狀記憶合金驅動和電磁驅動等類型．與其它微驅動器相比較，電磁驅動技術由于采用運動體和驅動機構分離的驅動方式，運動體與驅動機構非接觸、無摩擦損耗，所以易于在單一驅動結構中實現多自由度、大范圍高精度的微運動，并且具有良好的動態響應特性．總結國內外的電磁驅動器，主要可分為兩類：一類是懸浮力和驅動力由同一部件提供，這種結構需要利用復雜的控制算法進行解耦，不僅編程相當復雜，給控制芯片帶來巨大的運算量，降低了芯片的控制效果，而且解耦效果不太理想．另一類是利用電磁鐵的吸力實現懸浮的方法，其懸浮力與驅動力由獨立的部件控制，但是其結構上不穩定，控制量的波動較大．鑒于此，本文設計了一種基于磁場同步跟隨的電磁懸浮式微驅動器，解決了懸浮單元與驅動單元之間的耦合和運動穩定性較低的問題，并對其進行了運動狀態下的力學分析和系統測試。
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