資料介紹
論述了電子氣體輸送系統的各種技術(shù)現狀和特點(diǎn),并就高純度、大流量、嚴格的安全
措施和大力降低建設成本四個(gè)方面預測了其發(fā)展趨勢。
關(guān)鍵詞: 電子氣體,特種氣體,大宗特氣,輸送系統,純度控制
1. 現狀
電子氣體是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽(yáng)能電池、光等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規模集成電路工廠(chǎng)的晶圓片制造過(guò)程中,全部工藝步驟超過(guò)450 道,其中大約要使用50 種不同種類(lèi)的電子氣體。電子氣體輸送系統是指為滿(mǎn)足工藝制程的需求,在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下,將電子氣體從氣源端無(wú)二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩定地輸送到工藝生產(chǎn)設備的用氣點(diǎn)。根據氣體性質(zhì)和供應包裝的不同,一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
措施和大力降低建設成本四個(gè)方面預測了其發(fā)展趨勢。
關(guān)鍵詞: 電子氣體,特種氣體,大宗特氣,輸送系統,純度控制
1. 現狀
電子氣體是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽(yáng)能電池、光等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規模集成電路工廠(chǎng)的晶圓片制造過(guò)程中,全部工藝步驟超過(guò)450 道,其中大約要使用50 種不同種類(lèi)的電子氣體。電子氣體輸送系統是指為滿(mǎn)足工藝制程的需求,在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下,將電子氣體從氣源端無(wú)二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩定地輸送到工藝生產(chǎn)設備的用氣點(diǎn)。根據氣體性質(zhì)和供應包裝的不同,一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
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