資料介紹
MEMS是指微型化的器件或器件的組合,把電子功能與機械的、光學的或其他的功能相結合的綜合集成系統,采用微型結構,使之在極小的空間內達到智能化的功效。MEMS是一門多學科交叉的新興學科,涉及精密機械、微電子材料科學、微細加工、系統與控制等技術學科和物理、化學、力學、生物學等基礎學科。它將在21世紀的信息、通信、航空航天、生物醫療等多方面獲得重大突破,從而對世界科技、經濟發展和國防建設帶來深遠響,德國Weissler把MEMS稱為系統工業發展所需要的‘維生素”。MEMS具有以下幾個非約束性的特征:
?。╨) 尺寸在毫米到微米范圍內,區別于傳統的宏觀機械:
?。?) 以硅微加工技術為主要的制造技術:
?。?) 在無塵室大批量、低成本生產,使性價比比傳統“機械”制造技術大幅度地提高;
?。?) MEMS中的機械不限于力學中的機械,它代表一切具有能量轉化、傳輸等功能的效應,包括力、熱、光、磁、化學、生物等效應:
?。?) MEMS的目標是“微機械”與IC( Integrated circle)結合的微系統,并向智能化方向發展。
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