突破性MEMS開關技術的詳細資料說明

過去 30 年來，MEMS 開關一直被標榜為性能有限的機電繼電器的出色替代器件，因為它易于使用，尺寸很小，能夠以極小的 損耗可靠地傳送 0 Hz/dc 至數百 GHz 信號，有望徹底改變電子系統的實現方式。這種性能優勢會對大量不同的設備和應用產 生重要影響。在 MEMS 開關技術的幫助下，很多領域都將達到前所未有的性能水準和尺寸規格，包括電氣測試與測量系統、 防務系統應用、醫療保健設備。

　　目前的開關技術都或多或少存在缺點，沒有一種技術是理想解決方案。繼電器的缺點包括帶寬較窄、動作壽命有限、通道數有限以及封裝尺寸較大。與繼電器相比，MEMS 技術一直就有實現最高水平 RF 開關性能的潛力，其可靠性要高出好幾個數量級，而且尺寸很小。但是，難以通過大規模生產來大批量提供可靠產品的挑戰，讓許多試圖開發 MEMS 開關技術的公司停滯不前。Foxboro Company 是最早開始 MEMS 開關研究的公司之一，其于 1984 年申請了世界最早的機電開關專利之一。ADI 公司自 1990 年開始通過一些學術項目涉足 MEMS 開關技術研究。到 1998 年，ADI 公司終于開發出一種 MEMS 開關設計，并根據該設計制作了一些早期原型產品。2011 年，ADI 公司大幅增加了 MEMS 開關項目投入，從而推動了自有先進 MEMS 開關制造設施的建設?，F在，ADI 公司已能夠滿足業界一直以來的需求：量產、可靠、高性能、小尺寸的 MEMS 開關取代衰老的繼電器技術。 ADI 公司與 MEMS 技術有著深厚的歷史淵源。世界上第一款成功開發、制造并商用的 MEMS 加速度計是 ADI 公司于 1991 年發布的 ADXL50 加速度計。ADI 公司于 2002 年發布第一款集成式 MEMS 陀螺儀 ADXRS150。以此為開端，ADI 公司建立了龐大的 MEMS 產品業務和無可匹敵的高可靠性、高性能 MEMS 產品制造商聲譽。ADI 公司已為汽車、工業和消費電子應用交付了逾 10 億只慣性傳感器。正是這種優良傳統所帶來的經驗和信念將 MEMS 開關技術變為現實。