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電子發燒友網>電子資料下載>IC資料>IC中文資料>薄膜沉積設備介紹

薄膜沉積設備介紹

2022-06-22 | pdf | 1.41 MB | 次下載 | 2積分

資料介紹

薄膜沉積設備作為晶圓制造的核心設備 之一,在晶圓制造環節設備投資占比僅次于光刻機,約占 25%。根據 SEMI 和 Maximize Market Research 的統計,2020 年全球半導體設備市場規模達到 712 億 美元,其中薄膜沉積設備市場規模約 172 億美元。目前,薄膜沉積設備中 CVD 類設 備占比最高,2020 年合計占比 64%;濺射 PVD 類設備占整體市場的 21%。 PECVD 是薄膜設備中占比最高的設備類型,占整體薄膜沉積設備市場的 34%。
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