芯片級集成是推動光子技術部署的一個關鍵因素。相干激光測距或調頻連續波(FMCW)激光雷達(LiDAR)是一種光電探測技術,具有瞬時速度和距離檢測、人眼安全、遠距離和抗干擾等優點。然而,相干激光雷達系統的晶圓級集成受到了對激光相干性、頻率捷變性和光學放大器的嚴格要求的挑戰。
據麥姆斯咨詢報道,瑞士洛桑聯邦理工學院(EPFL)和美國普渡大學(Purdue University)的研究人員組成的團隊提出了一種光子-電子激光雷達源,由基于微電子的高壓任意波形發生器(HV-AWG)、具有PZT壓電執行器的基于混合光子回路的可調諧Vernier激光器以及摻鉺波導放大器(EDWA)構成。重要的是,所有系統均采用晶圓級制造兼容工藝實現,包括III-V族半導體、氮化硅光子集成回路和130 nm SiGe雙極互補金屬氧化物半導體(CMOS)技術。
研究人員在10 m距離進行了測距實驗,實現了厘米級的精度水平和50 kHz采集速率的。該激光源是一站式方案且無需線性化,并且可以與現有焦平面和光學相控陣(OPA)激光雷達方案無縫集成。相關研究成果近日以“Photonic-electronic integrated circuit-based coherent LiDAR engine”為題發表于Nature Communications期刊上。
光子-電子激光雷達源
光子-電子激光雷達由三個主要組件構成(圖1a):激光器、ASIC和片上放大器。通常,分布式反饋(DFB)激光器被用作FMCW激光雷達中的光源。在本研究工作中,研究人員采用了一種基于Vernier環形濾波器的外腔混合集成激光器。該激光器(圖1c)的工作波長為1566 nm,包括一個反射式半導體光放大器(RSOA),其邊緣耦合到具有基于微諧振器的Vernier濾波器的Si?N?光子集成回路。壓電鋯鈦酸鉛(PZT)執行器被異質集成在微環頂部,通過應力光學效應進行快速激勵,從而實現快速激光頻率調諧。為了獲得更好的穩定性,整個組件被封裝在蝶形14引腳封裝內,并放置在Peltier元件上,光被耦合到SMF輸出光纖。
圖1 光子-電子激光雷達源的概念
為了使激光器在FMCW模式下運行(圖1b),需要對其頻率進行GHz的調諧,這對于PZT集成執行器來說需要10 V以上的電壓,而傳統的CMOS電子器件無法實現這一點。此外,傳統的線性調制激光調諧需要反饋以保持波形的線性。為了消除反饋或后處理的必要性,并克服電壓的限制,研究人員設計并制造了一種HV-AWG集成電路(圖1e),它能產生20 V的鋸齒波形以驅動PZT執行器,而供電電壓僅為3.3 V。
FMCW激光雷達有多種實現方式。通常,它使用三角啁啾波形,但也可以使用隨機相位編碼調制。圖1b顯示了實驗中使用的啁啾波形。最后,研究人員采用一個芯片級集成EDWA(圖1f)將激光放大至超過20 mW的光功率,以滿足魯棒和遠距離相干測距的功率要求。
高壓任意波形發生器ASIC
HV-AWG通常以單個甚至多個分立組件的形式提供,由于其與支持先進電子器件的技術不兼容,因此通常難以集成。研究人員展示了一種新穎的架構,它可以使用標準CMOS技術在3.3 V供電電壓下生成高壓任意波形。圖2a顯示了該集成電路的原理架構圖。該ASIC由一個電壓控制的環形振蕩器(VCRO)構成,用于驅動一系列Dickson電荷泵級的時鐘。
圖2b說明了波形生成的原理。當電路在不同的VCRO輸入序列下工作時,可產生不同形狀、振幅、頻率和偏移值的波形,如圖2c所示。圖2d顯示了FMCW激光雷達測距實驗中使用的45 kHz鋸齒波形。
圖2 采用130nm SiGe-BiCMOS技術制造的高壓任意波形發生器集成電路
電光轉換和線性度
圖3a顯示了ASIC產生的電波形。相同的鋸齒信號被施加到Vernier激光器的兩個壓電執行器上。使用輔助激光器進行的外差測量顯示了激光啁啾的時頻圖(圖3b)。
為了實現長距離、魯棒的測量,FMCW激光雷達要求光波形具有較高的啁啾線性度。為了獲得所需的任意波形發射器信號,研究人員采用延遲零差檢測法對光波形進行了迭代線性化處理。通過對拍頻電信號的希爾伯特變換(Hilbert transformation),研究人員計算出了啁啾的瞬時頻率(圖3e),從中推斷出的激光啁啾的非線性度如圖3f所示。
延遲零差檢測的傅里葉變換如圖3g所示。拍頻的半峰全寬(FWHM)決定了激光雷達的分辨率。拍頻線寬幾乎受到傅里葉變換的限制,寬度為60 kHz。圖3h顯示了2?×?10?次測量的統計數據。從中可以推斷,激光雷達最可能的分辨率值為11.5 cm,而固有分辨率為9.3 cm,對應于1.61 GHz(1.78 GHz的90%)。
圖3 光子集成激光雷達源的電光轉換和線性度
光學測距
圖4a顯示了FMCW光子-電子激光雷達實驗設置。圖4b顯示了由約10,000個像素組成的點云。測量目標由聚苯乙烯泡沫塑料甜甜圈和圓錐體、C和S紙質字母以及放置在距準直器10 m處的平面背景組成。每個像素都是通過分析23 μs的單鋸齒波周期獲得的。圖4c描繪了應用Blackman-Harris窗檢測到的信號的周期圖。啁啾偏移量是通過使用輔助干涉儀進行自零差測量獲得的。研究人員對目標拍頻進行高斯擬合以推斷測距精度。根據對約2?×?10?次實測的單點測量統計數據,研究人員估計該實驗設置測距的精度約為1.5 cm。
圖4 測距實驗設置
綜上所述,這項研究提出了一種基于光子-電子集成回路的相干激光雷達源。該系統級架構代表了一種具有ASIC定義的FMCW激光調諧功能的嵌入式頻率捷變激光器。研究表明,將帶有快速PZT執行器的混合集成Vernier環形激光器、高壓任意波形發射器ASIC和摻鉺波導放大器Si?N?芯片組合在一起,可在50 kHz速率下實現2 GHz掃頻,輸出功率超過20 mW。所提出的激光雷達引擎實現了12 cm的深度測距分辨率,啁啾非線性度小于0.1%。采用傳統的2D機械振鏡掃描,研究人員在10米的距離上演示了1.5 cm精度的測距??傊?,集成激光器、HV-AWG ASIC和芯片級EDWA的組合構成了一個魯棒的相干激光雷達源,可應用于現有的硅成像3D傳感器,并為實現完全集成的相干激光雷達系統奠定了基礎。
論文鏈接:
https://doi.org/10.1038/s41467-024-47478-z
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原文標題:基于光子-電子集成回路的相干激光雷達引擎
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