離子注入機的簡易原理圖

原文作者：Tom

本文介紹了離子注入機的相關原理。

離子注入機的原理是什么？

上圖是離子注入機的簡易原理圖，各部件作用依次為：

Ion Source（離子源）：通過將氣體電離，產生所需的離子類型。 Extraction Voltage（抽取電壓）：將產生的離子從源中抽取出來。 Ion Electrode（離子電極）：形成和控制離子束。 Analyzing Magnet（分析磁鐵）：用于分離出不同荷質比的離子，確保只有所需荷質比的離子進入加速器。 Mass Separation Slit（質量分離縫隙）：通過分析磁鐵后所允許的離子的特定荷質比范圍。 Acceleration Column（加速柱）：離子繼續加速到所需的最終能量。 Deflector（偏轉器）：用于調整離子束的路徑，以確保離子精確地打到靶材料上。 Magnetic Quadrupole Lenses（磁性四極透鏡）：用于聚焦離子束，提高注入的精確性。 Electronic Scanning（電子掃描）：控制離子束在靶材料表面的掃描模式，確保均勻注入。 Sample (Base Material)（樣品（基材））：即靶材料，也就是離子要注入的半導體材料。

審核編輯：黃飛