天眼查數據顯示,北京北方華創微電子裝備有限公司于2024年4月5日公開了一項名為“電源控制方法和裝置、半導體工藝設備”的專利,編號為CN117832051A。
此項技術主要涉及到電源控制以及半導體工藝設備領域。具體而言,該專利包括如下步驟:首先,啟動待控制電源;接著確定該待控制電源是作為上極電源還是下極電源工作;然后,獲取待控制電源的反射功率信息;根據反射功率信息計算出維持待控制電源開啟所需的第一補償時長;最后,將待控制電源的開啟時長更新為設定開啟時長與第一補償時長之和,并在達到更新后的開啟時長時關閉待控制電源。
據稱,這項技術可有效提升晶圓間刻蝕的一致性,防止刻蝕量不足,從而提高產品良率。
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