北方華創微電子獲新專利：半導體腔室設備簡化調平步驟

近日，北京北方華創新型微電子旗下的子公司——北京北方華創微電子裝備有限公司，成功獲得一項名為“半導體腔室及設備”的重要發明專利。該項專利公布于中國國家知識產權局，授權公告號CN220665444U，公告日期為2024年3月26日。其初始申請日期為2023年7月27日。

此實用新型主要涉及一種半導體腔室以及相關設備。這個集成的腔室內包含了幾個關鍵組件，如腔室本體、基座組件（負責放置圓晶）、磁流體組件（由驅動件和固定件組成，其中，固定件位于腔室本體外部，而驅動件則可旋轉并密封于固定件之上），可以實現驅動件從腔室本體外部穿入到內部，并固定于基座組件上。

這個設計還特別配備了一個調平機構，它固定于腔室本體的外墻上，同時也將固定件與之相連。通過這樣的方式，不僅能調整磁流體組件的設立角度，進而改變支撐面的角度，還可以大大簡化反應器的調節過程，節省時間精力，減少維護成本，有效提升生產效率。