薄膜淀積工藝的保角性=臺階覆蓋性嗎？如何做到好的保角性呢？

薄膜的保角性，又稱保形性，指的是薄膜淀積臺階覆蓋能力和空隙填充能力，以及保留原始形狀的能力。保角性不能簡單地和臺階覆蓋性劃等號，保角性的概念包含了臺階覆蓋的概念。

薄膜保角性，要求所有圖形上（表面、底面和側壁）淀積的薄膜厚度相同，也稱共性覆蓋。而臺階覆蓋性，不要求沿著臺階所有界面的膜層厚度是均勻的，只要能覆蓋下層。因此，薄膜保角性比臺階覆蓋性要求更高。那么如何做到好的保角性呢？要求淀積物在臺階表面吸附后迅速遷移，才能使薄膜厚度均勻。這樣就有必要介紹薄膜的沉積方式。

圖1 保角性和臺階覆蓋性的比較

物理氣相沉積（PVD，Physical Vapor Deposition），一般針對淀積金屬薄膜。是在真空條件下，金屬源通過物理驅動傳輸到襯底上，主要的方法包括蒸發和濺射。PVD淀積薄膜在不平整的表面時，在表面淀積的速率明顯高于側壁，且側壁越靠下，淀積速率越低，造成臺階頂部的突懸。高深寬比的臺階，基本不提保角性，甚至無法做到良好的臺階覆蓋，側壁靠下部分無法淀積薄膜。這也是TGV（玻璃通孔）、TSV（硅通孔）技術和通孔填銅的技術難點。那么對比蒸發和濺射，哪種臺階覆蓋更好呢？一般而言，認為濺射更好，尤其是射頻磁控濺射，通過襯底加熱和對襯底施加射頻都可以提高臺階覆蓋性。

圖2 臺階懸突和臺階保角

化學氣相沉積(CVD，Chemical Vapor Deposition)是半導體工業中應用最為廣泛的材料淀積技術，包括大部分的的介質薄膜和少量的金屬薄膜。從原理上說，兩種或兩種以上的氣態或液態原材料導入到一個反應室內，通過吸附、化學反應和排出副產物，形成目標膜層在襯底淀積。由于CVD是直接在圖形上生成目標物，因此它的保角性是值得探索和研究的。CVD參數的可調范圍是很寬：反應室內的壓力、晶片的溫度、氣體的流動速率、氣體通過晶片的路程、氣體的化學成份、一種氣體相對于另一種氣體的比率等，合適的淀積參數確定，是形成保角性的必要條件。

圖3 CVD沉積原理圖示和反應步驟

CVD技術常常通過反應類型或者壓力來分類，包括低壓CVD（LPCVD），常壓CVD（APCVD），亞常壓CVD（SACVD），超高真空CVD（UHCVD），等離子體增強CVD(PECVD)，高密度等離子體CVD（HDPCVD）和快熱CVD（RTCVD）。

一般情況，搭配液態源的LPCVD和PECVD有可能實現較好的薄膜保角性。正硅酸乙脂（TEOS）為無色透明液體，在700 ℃以上，低壓摻氧條件下分解可產生二氧化硅和有機物，其中氧對TEOS熱分解起到催化作用，其介質層膜厚均勻、保角性好且具有良好的介電性能。在硅電容中，即采用LPCVD在深溝槽內沉積多晶硅淀積極板層。

圖4 TEOS的兩種CVD臺階覆蓋性和保角性的比較

另外介紹一種保角性近乎100%的技術，原子層沉積ALD，這也是CVD的一種。ALD是一層一層的生長工藝，每一周期有自約束，因此對于超薄層生長的控制要好得多。在襯底絕緣層氧化物上，對保角性要求高且薄膜厚度低的場景非常適用。在硅電容中，深溝槽中的絕緣層即可采用ALD保證其厚度均勻性好。

圖5 深溝槽硅電容示意圖

盡管CVD比PVD有更好的臺階覆蓋特性，但目前通孔填銅的種子層和鉭氮擴散層薄膜都是通過PVD來淀積的，CVD實際應用大部分在介質膜和絕緣膜，實際的工藝選擇還是需要根據芯片的設計要求，并不是說所有的膜層都要求100%保角性。

審核編輯：劉清