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測量ITO導電薄膜,CP200臺階儀了解一下?

中圖儀器 ? 2023-06-27 10:49 ? 次閱讀

太陽能作為應用廣、無排放、無噪聲的環保能源,在近些年迎來快速發展,而在各類型的太陽能電池及太陽能充電系統中,多會鍍一層透明的ITO導電薄膜,其鍍膜厚度對電池片的導電性能有著非常重要的影響,因而需要對鍍膜厚度進行檢測與管控。

由于ITO膜具有一定的透光性,而硅基板具有較強的反射率,會對依賴反射光信號進行圖像重建的光學輪廓儀造成信號干擾導致ITO膜厚圖像重建失真,因此考慮采用接觸式輪廓儀對ITO膜厚進行測量,由于其厚度范圍從十幾納米到幾百納米,考慮到測量的同時不損傷樣件本身,因而采用具有超微力可調和亞納米級分辨率的臺階儀最為合適。

臺階儀是干什么的?在太陽能光伏行業能測什么?

臺階儀是一種常用的膜厚測量儀器,它是利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

wKgaomSaTYOAB8XcAAGG-BVGfBE940.pngCP200臺階儀

CP系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優勢。

wKgZomSaTYOACQaJAALeQtiyKFs604.pngwKgaomSaTYOADfNBAAN-vI1A-3U532.pngwKgZomSaTYOAC-KfAAKZ2KRDt9Y842.png

針對測量ITO導電薄膜的應用場景,CP200臺階儀提供如下便捷功能:
1)結合了360°旋轉臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;
2)對于批量樣件,提供自定義多區域測量功能,實現一鍵多點位測量;
3)提供SPC統計分析功能,直觀分析測量數值變化趨勢;

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