解決方案|半導體晶體生長測溫
場景 半導體晶體生長測溫
要解決的問題
還原爐應用中，需多點位測溫，有的點位位置較高對準目標比較困難。
升溫過程中，材料狀態可能發生變化，導致發射率隨之發生變化導致測溫失準。建議使用雙色測溫儀。
直拉法應用中，一般集成于內部溫控系統，安裝空間有限。建議使用分體光纖式設備。
需透視窗測量反應物。建議使用近紅外短波測溫。
場景特點 SCENE FEATURES01
反應溫度需維持在高溫狀態（還原爐約1080℃、直拉法約為1500℃）。
02可能有較強的電磁干擾，需要使用分體式光纖設備。03
熔融石英坩堝內部反應。
04
腔室內填充保護性氣體。
解決方案
核心優勢IGAR 12-LO（分體光纖測溫儀）
在高溫/高壓/電磁場等環境中，只放進一個測溫鏡頭，通過光纖傳輸光信號，最大程度的減少了環境的干擾項，保證測量的準確無誤。
測溫范圍全覆蓋（300~2500℃）。
高精度，最小可精確讀數到0.5%+1℃。
極短的響應時間（2ms）。
極小的光斑尺寸（最小為0.45mm）。
光纖探頭耐溫高達250℃。
診斷功能。
雙色/單色、0/4-20mA、RS232/RS485均可切換。
IGAR 6-TV
具有直觀的視頻模式，且接線簡單。
可記錄視頻實時圖像或視頻，多種格式儲存。
測溫量程全覆蓋（100~2000℃）。
高精度，最小可精確到讀數的0.4%+2℃。
可變焦鏡頭，可調節測距（可從210至2000mm內測溫）。
設定內可調多種參數，使用多種環境需求。
技術參數
| 型號 | IGAR 12-LO | IGAR 6-TV |
|---|---|---|
| 溫度范圍 | 300...3300℃ | 100...2000℃ |
| 測量波段 | 1.52...1.64μm | 波段1: 1.5...1.6μm; 波段2:2.0...2.5μm |
| 響應時間 | 2ms | 2ms |
| 測量精度 | 讀數的0.5%±1℃（<1500℃） 讀數的0.7%±1℃（>1500℃） | 測量值的0.4%±2℃（<1500℃） 測量值的0.8%（>1500℃） |
| 重復性 | 讀數的0.3%+1℃ | 測量值的0.2%+1℃ |
| 瞄準方式 | 同軸激光瞄準 | 視頻瞄準，彩色圖像。帶有瞄準指示光圈 |
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