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6.1.1 選擇性摻雜技術∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-06 09:17 ? 次閱讀

6.1.2 n型區的離子注入

6.1 離子注入

第6章碳化硅器件工藝

《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

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