造光刻機需要哪些技術？

沒有任何一個國家的人比中國人更想造出頂級光刻機。網友甚至表示，只要造出光刻機，無論一個人做錯了什么都可以原諒。

因為光刻機，這種高精密芯片制造設備，是當前中國半導體的軟肋。2002年，光刻機就被列入國家863重大科技攻關計劃，

造光刻機需要哪些技術？

雖然制造光刻機涉及的產業體系非常龐大，但簡單來說，主要是兩點。

首先，制造光刻機需要數萬個零部件。

一臺光刻機含有80000個零件，最先進的極紫外光EUV光刻機所需的零部件更是超過10萬個。整機光刻機包含曝光系統（照明系統和投影物鏡）、工件臺掩模臺系統、自動對準系統、整機軟件系統等。

所需要的核心部件如下：

制圖：華秋商城

而在這些核心部件中，光學鏡頭、光學光源和工件臺又是核心中的核心。

高數值孔徑的鏡頭決定了光刻機的分辨率以及套值誤差能力，重要性不言而喻。EUV極紫外光刻機唯一可使用的鏡頭由卡爾蔡司生產。

光源波長決定了光刻機的工藝能力。光刻機需要體積小、功率高而穩定的光源。如EUV光刻機所采用的波長13.5nm的極紫外光，光學系統極為復雜。

光刻機工件臺系其中承載硅片完成光刻過程中一系列超精密動作的運動系統（包括上下片、對準、晶圓面型測量和曝光等），將影響光刻機的精度和產效，綜合技術難度較高。

其次，需要精準的組裝技術。

集齊所需的零部件后，需要精準的組裝技術，把零部件組裝起來，變成光刻機。ASML本質上更像是一家組裝企業，畢竟其光刻機90%的部件是全球采購的，來自全球不同國家的超過5000家供應商。ASML能夠打敗尼康和佳能，稱霸全球光刻機市場，離不開其超強組裝技術。

而且ASML是一個知識密集型企業，擁有大量的受保護的專利和知識產權。他們的工程師非常擅長系統集成方面的知識，了解如何將這些制作光刻機所需要的元件集成在一起，也知道如何組裝一個光刻機。ASML已經掌握了超過一半制造光刻機的核心技術。

編輯：jq