光刻膠板塊的大漲吸引了產業注意 ，國產光刻膠再遇發展良機？

5月27日，半導體光刻膠概念股開盤即走強，截至收盤，A股光刻膠板塊漲幅達6.48%。其中晶瑞股份、廣信材料直線拉升大漲20%封漲停，容大感光大漲13.28%，揚帆新材大漲11.37%，南大光電大漲9.72%，雅克科技大漲9.93%，強力新材、上海新陽、彤程新材等跟漲。

光刻膠板塊的大漲吸引了產業注意 ，國產光刻膠再遇發展良機？

KrF光刻膠海外供應告急

據了解，光刻膠板塊本輪異動的背后，是KrF光刻膠海外供應告急。自日本福島2月份發生強震后，光刻膠市場一度傳出“因受地震影響，信越化學KrF光刻膠生產以及海外供貨受阻”的消息，但是時隔3個月，KrF光刻膠在中國大陸的供應困境依然沒有緩解。

從KrF光刻膠的供需來看，當前的中國大陸KrF光刻膠供應告急不難理解。

在供應方，中國大陸光刻膠嚴重依賴進口，國產化率不足5%，就ArF 光刻膠供應而言，當前該市場由日本企業壟斷，頭部聚集效應極為明顯。根據前瞻產業研究院整理統計，2019 年日本龍頭企業 JSR、信越化學、TOK 和住友化學包攬前四，分別占據全球 ArF 光刻膠細分市場 25%、23%、20%和 15%市場份額，總計市場份額達到 83%。而第五名的美國陶氏化學在 ArF 光刻膠領域只占據 4%的市場份額。

在這種情況下，供貨占全球兩成的信越化學KrF光刻膠產線受地震影響產線至今尚未完全恢復，對原本供應就緊張的光刻膠市場而言雪上加霜。

其它光刻膠廠商對KrF光刻膠的供應困境解決也有心無力，因為自2020年底以來，KrF光刻膠市場的需求實在是太強勁了。

一方面，據了解，目前半導體光刻膠最常使用曝光波長分類，主要有 g 線、i 線、KrF、ArF 和最先進的 EUV 光刻膠，其中 DUV 光刻機分為干法和浸潤式，因此 ArF 光刻膠也對應分為干法和浸潤式兩類。不同晶圓尺寸所需的光刻膠類別不一。

本次供應緊張的KrF光刻膠對應的正是大熱門的8寸晶圓生產需求。受疫情帶來的“宅經濟”和汽車半導體的強勁需求拉動，從去年下半年開始，8寸晶圓制造產能逐漸擴張，對KrF光刻膠的需求也水漲船高，造成了光刻膠等原材料的短缺和價格上漲。

另一方面，根據國家半導體產業協會數據顯示，2017-2020年間，中國大陸新建27座晶圓廠，在全球新建晶圓廠數量中占比43.5%，將成為全球晶圓廠投資活動最活躍的地區。大量新增晶圓廠的產能帶來了龐大的光刻膠市場需求。

此外，光刻膠的緊缺與其市場交易習慣也有一定關系。光刻膠作為晶圓制造的核心化學工藝品，有效期較短，晶圓廠正常的庫存通常不會太多，因此光刻膠供應鏈易受自然災害或政治經濟沖突等突發事件影響，產生缺貨、漲價現象。

國產KrF光刻膠技術處于追趕期

海外供應告急之下，國產KrF光刻膠的發展也備受關注。據了解，一直以來，光刻膠的客戶壁壘較高，市場上光刻膠產品的更新速度較快，光刻膠廠家為了實現技術保密性，會與上游的原料供應商保持密切合作關系，共同研發新技術，增大了客戶的轉換成本。

但現在中小晶圓廠苦于位列海外光刻膠客戶列表尾部，目前無貨可取，在地緣政治的風險下，大客戶也在積極建設光刻膠的本土供應鏈，國產光刻膠產品在國內有望迎來新一輪的客戶導入。

據不完全統計，目前中國多家光刻膠供應廠商已經宣布在KrF光刻膠領域取得技術進展，主要有北京科華微電子、晶瑞股份，南大光電，上海新陽等。

整體而言，國產KrF光刻膠還處于客戶驗證與導入階段。預計伴隨KrF光刻膠、ArF光刻膠研發完畢順利完成客戶驗證后，國產光刻膠將進入國產替代的高峰期。

北京科華：KrF已量產，ArF光刻膠尚在研發過程中

北京科華微電子材料有限公司是一家中美合資企業，現該公司的第一股東為彤程新材，是目前國內唯一一家可供應KrF光刻膠企業。

北京科華成立于 2004 年，是一家產品覆蓋 KrF（248nm）、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑供應商與服務商，也是集先進光刻膠產品研、產、銷為一體的擁有自主知識產權的高新技術企業?？迫A微電子光刻膠產品序列完整，產品應用領域涵蓋集成電路（IC）、發光二極管（LED）、分立器件、先進封裝、微機電系統（MEMS）等。

產品類型覆蓋 KrF（248nm）、G/I 線（含寬譜），主要包括：KrF光刻膠 DK1080、DK2000、DK3000系列；g-i line 光刻膠 KMP C5000、KMP C7000、KMP C8000、KMP EP3100 系列和 KMP EP3200A 系列；Lift-off 工藝使用的負膠 KMP E3000 系列；用于分立器件的 BN、BP 系列等。

晶瑞股份：KrF已完成中試，ArF光刻膠尚在研發過程中

蘇州晶瑞化學股份有限公司是一家生產銷售微電子業用超純化學材料和其他精細化工產品的上市企業，產品廣泛應用于超大規模集成電路、LED、TFT-LCD 面板制造過程、太陽能硅片的蝕刻與清洗。

2020 年 8 月 21 日晶瑞股份中報披露其子公司蘇州瑞紅 1993 年開 始光刻膠生產，承擔并完成了國家 02 專項“i 線光刻膠產品開發及產業化”項目，i 線光刻膠已向國內頭部的知名大尺寸半導體廠商供貨，KrF 光刻膠完成中試，產品分辨率達到了 0.25～0.13μm 的技術要求，建成了中試示范線。

2020 年 10 月 12 日，晶瑞股份對深交所關注函的回復公告顯示，公司擬購買光刻機設備的型號為 ASML XT 1900Gi ArF 浸入式光刻機，可用于研發最高分辨率達 28nm 的高端光刻膠。

南大光電：子公司寧波南大光電自主研發的ArF光刻膠已通過客戶認證

南大光電是一家專業從事先進電子材料高純金屬有機化合物的研發、生產和銷售的高新技 術企業，對關鍵技術擁有完全自主知識產權，亦是全球 MO 源領導供應商之一，產品主要應用于下游制備 LED 外延片等。

在半導體光刻膠領域，南大光電擬投資 6.56 億元，3 年建成年產 25 噸 193nm（ArF 干式和浸沒式）光刻膠生產線，該啟動項目已獲得國家 02專項正式立項。

2020 年 11 月 6 日，南大光電披露 2020 年度向特定對象發行股票預案， 擬向特定對象發行股票的募集資金總額不超過 6.35 億元，其中 1.5 億元擬用于先進光刻 膠及高純配套材料的開發和產業化、ArF 光刻膠產品的開發和產業化。

上海新陽：主攻KrF和干法ArF光刻膠，目前已進入產能建設階段

上海新陽是以技術為主導，立足于自主創新的高新技術企業，專業從事半導體行業所需電子化學品及配套設備的研發設計、生產制造和銷售服務，致力于為用戶提供化學材料、配套設備、應用工藝和現場服務一體化的整體解決方案。

上海新陽主攻 KrF 和干法 ArF 光刻膠，已經進入產能建設階段。根據 2020 年 11 月 3 日定增預案，公司擬定增募資不超過14.50 億元，其中 8.15 億元擬投資于集成電路制造用高端光刻膠研發、產業化項目，主要目標為實現 ArF 干法工藝使用的光刻膠和面向 3D NAND 臺階刻蝕的 KrF 厚膜光刻膠的產業化，力爭于 2023 年前實現上述產品的產業化，填補國內空白。

編輯：jq