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??? 與通常的冶金方法不同,離子注入是用高能量的離子注入來獲得表面合金層的,因而有其特點:
??? (1)離子注入是一個非熱平衡過程,注入離子的能量很高,可以高出熱平衡能量的2～3個數量級。因此,原則上周期表中的任何元素都可以注入任何基體材料。
??? (2)注入元素的種類,能量,劑量均可選擇,用這種方法形成的表面合金,不受擴散和溶解度的經典熱力學參數的限制,即可得到用其他方法難以獲得的新合金相。
??? (3)離子注入層相對基體材料沒有明顯的界面,因此表面不存在粘附破裂或剝落問題,與基體結合牢固。
??? (4)離子注入可以通過控制注入劑量,注入能量及束流密度來精確控制注入離子的濃度和深度的分布。
??? (5)離子注入一般是在常溫真空中進行,加工后的工件表面無形變,無氧化,能保持原有尺寸精度和表面粗糙度,特別適合于高精密部件的最后工序。
??? (6)可以在工件表面層形成壓應力,減少表面裂紋。
??? (7)采用清潔的高真空和無毒的工藝和材料，處理溫度低，待處理材料的整體性能不受影響。
??? (8)由于注入僅達表面區域，可節約昂貴材料或戰略材料。
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離子注入的特點
- 離子注入(10211)
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近日，中車時代電氣SiC產業化基地離子注入工藝設備技術調試完成，標志著SiC芯片生產線全線設備、工藝調試圓滿完成，具備SiC產品的生產條件，下個月產線將正式啟動試流片。
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