電子發燒友網報道(文/劉靜)MEMS傳感器主要是利用半導體制造工藝和材料,加工微型機械結構形成的傳感器和執行器,然后匹配控制電路和信號處理電路,來測量和檢測各種物理量,包括壓力、加速度、溫濕度、角度、角速度等。
與傳統的傳感器相比,MEMS傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高等優勢。這使得MEMS傳感器在智能手機、AR/VR、可穿戴設備、智能駕駛、智能家居、智慧醫療等多個領域得到廣泛應用。
智能汽車所用到的MEMS傳感器多達10到40顆,一般低端的汽車通常要用到10顆MEMS傳感器,高端的汽車每輛的MEMS傳感器使用數會大幅增加到40顆。
隨著汽車智能化、電動化發展,車用MEMS傳感器市場規??焖僭鲩L,Yole最新數據預計2022年-2028年全球汽車市場對MEMS傳感器的需求有望從27億美元增長至41億美元,年復合增長率為7.21%。車用MEMS市場規模僅次于消費電子,為MEMS第三大增長快速的應用領域。
在汽車領域,MEMS傳感器有諸多應用,包括電動手剎、斜坡起動輔助、胎壓監控、引擎防抖、安全氣囊、車輛傾角計量、電池管理系統、車內心跳監測、健康座艙(空氣質量)等。
汽車電子當中應用的MEMS產品,有99%是壓力傳感器、加速度計、流量傳感器、陀螺儀、溫濕度傳感器。例如,高g值加速度計被應用于正面防撞氣囊,壓力傳感器則用于側面氣囊。在汽車發動機中,MEMS傳感器被用于檢測進氣量的進氣歧管絕對壓力傳感器和流量傳感器。此外,角速度傳感器(陀螺儀)在汽車導航和姿態控制中也發揮著關鍵作用。
億波達首席技術官張裕華表示,現在汽車應用的MEMS傳感器,為汽車帶來安全性、健康以及智能是必不可少的。
在智能駕駛當中,人們關注度最高的慣性導航系統。它其實就是通過慣性傳感器以及全球定位系統來確定位置,然后再匹配高精度的地圖來確定汽車具體的位置。此外,如果汽車是在運行當中的話,還要借助毫米波激光雷達、攝像頭以及超聲波雷達來感知現在汽車所處的環境。
慣性導航系統(IMU)主要是6軸MEMS加速度計和陀螺儀構成的組合,另外再加上GNSS衛星信號。IMU可以不依賴外界環境,通過自己的計算來定位自己的位置。那么未來的技術趨勢是怎樣的呢?
張裕華認為,高精度MEMS傳感器的發展趨勢,很重要的一個就是從MEMS這個級別進到NEMS級別。
NEMS作為MEMS的延伸,具有更小的尺寸和更高的精度,對于實現更高性能、更低功耗和更小尺寸的傳感器具有重要意義。
目前MEMS級別被限制的主要是深硅刻蝕工藝。深硅刻蝕工藝是MEMS制造中的關鍵技術,目前這種技術對電容式的陀螺儀可以刻到20:1的深寬比,這其實還是MEMS水平?!艾F在已經發展到NEMS的水平,間距可以做到200納米,也就是0.2個微米,那么深寬比可以達到100:1以上”張裕華說道。
另外一個技術趨勢則是MEMS傳感器的封裝進步,2.5D封裝開始向3.5D先進封裝發展。3.5D封裝結合了3D封裝和2.5D封裝的特性,并在其中引入了混合鍵合技術。簡單來說,3.5D封裝就是3D+2.5D的封裝方式,再加上混合鍵合技術的加持??梢宰孧EMS傳感器更小尺寸,功耗也會有所降低。3.5D封裝將會推動MEMS傳感器在各個領域的應用和發展。
與傳統的傳感器相比,MEMS傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高等優勢。這使得MEMS傳感器在智能手機、AR/VR、可穿戴設備、智能駕駛、智能家居、智慧醫療等多個領域得到廣泛應用。
智能汽車所用到的MEMS傳感器多達10到40顆,一般低端的汽車通常要用到10顆MEMS傳感器,高端的汽車每輛的MEMS傳感器使用數會大幅增加到40顆。
隨著汽車智能化、電動化發展,車用MEMS傳感器市場規??焖僭鲩L,Yole最新數據預計2022年-2028年全球汽車市場對MEMS傳感器的需求有望從27億美元增長至41億美元,年復合增長率為7.21%。車用MEMS市場規模僅次于消費電子,為MEMS第三大增長快速的應用領域。
在汽車領域,MEMS傳感器有諸多應用,包括電動手剎、斜坡起動輔助、胎壓監控、引擎防抖、安全氣囊、車輛傾角計量、電池管理系統、車內心跳監測、健康座艙(空氣質量)等。
汽車電子當中應用的MEMS產品,有99%是壓力傳感器、加速度計、流量傳感器、陀螺儀、溫濕度傳感器。例如,高g值加速度計被應用于正面防撞氣囊,壓力傳感器則用于側面氣囊。在汽車發動機中,MEMS傳感器被用于檢測進氣量的進氣歧管絕對壓力傳感器和流量傳感器。此外,角速度傳感器(陀螺儀)在汽車導航和姿態控制中也發揮著關鍵作用。
億波達首席技術官張裕華表示,現在汽車應用的MEMS傳感器,為汽車帶來安全性、健康以及智能是必不可少的。
在智能駕駛當中,人們關注度最高的慣性導航系統。它其實就是通過慣性傳感器以及全球定位系統來確定位置,然后再匹配高精度的地圖來確定汽車具體的位置。此外,如果汽車是在運行當中的話,還要借助毫米波激光雷達、攝像頭以及超聲波雷達來感知現在汽車所處的環境。
慣性導航系統(IMU)主要是6軸MEMS加速度計和陀螺儀構成的組合,另外再加上GNSS衛星信號。IMU可以不依賴外界環境,通過自己的計算來定位自己的位置。那么未來的技術趨勢是怎樣的呢?
張裕華認為,高精度MEMS傳感器的發展趨勢,很重要的一個就是從MEMS這個級別進到NEMS級別。
NEMS作為MEMS的延伸,具有更小的尺寸和更高的精度,對于實現更高性能、更低功耗和更小尺寸的傳感器具有重要意義。
目前MEMS級別被限制的主要是深硅刻蝕工藝。深硅刻蝕工藝是MEMS制造中的關鍵技術,目前這種技術對電容式的陀螺儀可以刻到20:1的深寬比,這其實還是MEMS水平?!艾F在已經發展到NEMS的水平,間距可以做到200納米,也就是0.2個微米,那么深寬比可以達到100:1以上”張裕華說道。
另外一個技術趨勢則是MEMS傳感器的封裝進步,2.5D封裝開始向3.5D先進封裝發展。3.5D封裝結合了3D封裝和2.5D封裝的特性,并在其中引入了混合鍵合技術。簡單來說,3.5D封裝就是3D+2.5D的封裝方式,再加上混合鍵合技術的加持??梢宰孧EMS傳感器更小尺寸,功耗也會有所降低。3.5D封裝將會推動MEMS傳感器在各個領域的應用和發展。
聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。
舉報投訴
-
mems
+關注
關注
128文章
3761瀏覽量
189069 -
封裝
+關注
關注
124文章
7365瀏覽量
141279 -
NEMS
+關注
關注
0文章
12瀏覽量
12751 -
MEMS傳感器
+關注
關注
16文章
406瀏覽量
42241 -
汽車
+關注
關注
12文章
3049瀏覽量
36278
發布評論請先 登錄
相關推薦
MEMS是替代傳統傳感器的唯一選擇?。?b class='flag-5'>趨勢探索)
廣闊的應用前景。 作者認為未來MEMS將向三大趨勢發展:MEMS 封裝將會向標準化演進;SIP系統級的高度集成化是主要承載形式;未來 MEMS
機構:汽車銷量持續增長,促使中國MEMS傳感器加快研發
? 【機構:汽車銷量持續增長,促使中國MEMS傳感器加快研發】 研究機構表示,隨著中國汽車銷量持續增長
基于射頻開關的MEMS/NEMS狀態
在開關能力超過18 GHz的MEMS/NEMS RF開關選擇方面取得了一些進展。Menlo Microsystems(通用電氣MEMS研究的商業化分拆)和ADI公司現在都提供RF MEMS
采用HLGA表面貼裝封裝的MEMS傳感器產品提供PCB設計和焊接工藝的通用指南
本技術筆記為采用 HLGA 表面貼裝封裝的 MEMS 傳感器產品提供 PCB設計和焊接工藝的通用指南。
發表于 09-13 08:03
HLGA封裝中MEMS傳感器的表面貼裝指南
表面貼裝 MEMS 傳感器的通用焊接指南在焊接 MEMS 傳感器時,為了符合標準的 PCB 設計和良好工業生產,必須考慮以下三個因素:? P
發表于 09-13 07:42
LGA封裝中MEMS傳感器的表面貼裝指南
在焊接 MEMS 傳感器時,為了符合通常的 PCB 設計和良好工業生產,必須考慮以下三個因素:? PCB 設計應盡可能對稱– VDD/GND 走線無需太寬 (功耗極低)– 傳感器
發表于 09-13 06:37
MEMS傳感器的主要構造是怎樣的呢?怎么造一顆MEMS傳感器呢?
用MEMS技術制造的新型傳感器,就稱為MEMS傳感器。一般傳感器的主要構造有敏感元件、轉換元件、
發表于 08-23 17:38
?1559次閱讀
智能傳感器50%的問題都出在這里!什么是MEMS封裝?(附頭部企業名單)
相關資料顯示,在 MEMS 系統中發生的可靠性問題 50% 來自封裝過程。2001年左右,封裝成本占MEMS器件總成本的70%~80%,使當時MEM
評論