全球首臺6代OLED垂直蒸鍍機已出貨，?打破日韓壟斷！

供應鏈消息人士向WitDisplay透露，應用材料全球首臺第6代AMOLED垂直蒸鍍機已出貨，成功打破日韓廠商在6代蒸鍍機的壟斷格局。

蒸鍍工藝是OLED制造的核心工藝之一，制約著OLED的良率和產能。根據精密金屬掩膜板(FMM)放置方向，蒸鍍工藝可分為水平蒸鍍以及垂直蒸鍍。

目前，水平蒸鍍是OLED產業的主流，6代水平蒸鍍機由日本佳能Tokki和韓國Sunic-System壟斷，已量產的6代OLED產線絕大部分采用佳能Tokki蒸鍍機，少部分采用Sunic System蒸鍍機，所以佳能Tokki是水平蒸鍍機的霸主。

不過，水平蒸鍍工藝并不完美，一直存在“重力下垂”的技術瓶頸。據介紹，FMM是超薄的金屬遮罩，當水平放置時，在重力的作用下FMM中間與邊緣存在一定的偏移量，而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明顯。這不利于提高AMOLED的PPI，使混色良率降低，大幅提高了AMOLED生產成本。

而垂直蒸鍍工藝最大的優點就能避免水平蒸鍍工藝FMM“重力下垂”帶來的干擾。垂直蒸鍍工藝則將FMM垂直放置，FMM和玻璃基板形變小，蒸鍍更均勻，像素位置精度(PPA)更高，混色更小，同時可以提升分辨率，降低功耗、成本，成為一個重要的蒸鍍工藝制程方向。

當前，只有JDI擁有一條垂直蒸鍍工藝低世代量產線，主要用于生產手表用的OLED。JDI表示，垂直方式蒸鍍設備所占面積相比目前的水平方式蒸鍍設備的減少30%。業內人士也向WitDisplay透露，JDI為蘋果手表供應的OLED就是采用垂直蒸鍍工藝生產的。

6代、8.5代垂直蒸鍍機沒有量產案例，三星顯示、京東方最新公布的8.6代OLED產線皆采用水平蒸鍍機，垂直蒸鍍機能否成功挑戰更為成熟的水平蒸鍍機，值得關注。

審核編輯：劉清