美國KRi射頻離子源RFICP 220助力光學薄膜技術發展
上海伯東美國KRi 高能量射頻離子源RFICP 220 應用于光學鍍膜機, 增強光學基片反射及透射率, 助力光學薄膜技術發展.
KRi射頻離子源在光學鍍膜機中的作用
設備: 客戶自主搭建光學鍍膜機, 光學薄膜強激光裝置組成部分之一
美國原裝進口高能射頻離子源: RFICP 220
作用: 通過玻璃鏡片表面清潔 Pre-clean 和輔助鍍膜 IBAD 工藝, 增強光學基片反射及透射率. 從而加強激光束, 對薄膜內部進行雜質和缺陷消除, 解決光學薄膜內部因存在雜質與缺陷導致的激光損傷問題.
真空環境下,KRi 射頻離子源通過向生長的薄膜中添加能量來增強分子動力學, 以增加表面和原子 / 分子的流動性, 實現薄膜的致密化或通過向生長薄膜中添加活性離子來增強薄膜化合物的化學轉化, 從而得到需要的材料.
同時KRi 射頻離子源可以對工藝過程優化, 無需加熱襯底,對溫度敏感材料進行低溫處理, 簡化反應沉積.
上海伯東美國 KRi射頻離子源RFICP 220 :高能量射頻離子源, 適用于離子濺鍍, 離子沉積和離子蝕刻.滿足 200 mm (8英寸) 晶圓應用.射頻離子源RFICP 220 可以很好的控制離子束沉積或濺射靶材, 實現更佳的薄膜特性. 標準配置下 RFICP 220 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 1000 mA.
| 陽極 |
電感耦合等離子體 2kW & 2 MHz 射頻自動匹配 |
| 最大陽極功率 | >1kW |
| 最大離子束流 | > 1000mA |
| 電壓范圍 | 100-1200V |
| 離子束動能 | 100-1200eV |
| 氣體 | Ar, O2, N2, 其他 |
| 流量 | 5-50 sccm |
| 壓力 | < 0.5mTorr |
| 離子光學, 自對準 | OptiBeamTM |
| 離子束柵極 | 22cm Φ |
| 柵極材質 | 鉬 |
| 離子束流形狀 | 平行,聚焦,散射 |
| 中和器 | LFN 2000 orRFN |
| 高度 | 30 cm |
| 直徑 | 41 cm |
| 鎖緊安裝法蘭 | 10”CF |
審核編輯：劉清
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原文標題：美國 KRi 射頻離子源助力光學薄膜技術發展
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