深圳要建12英寸MEMS中試線？南山區發布智能傳感器發展重磅文件！

來源：深圳市南山區工業和信息化局

據傳感器專家網獲悉，11月2日，深圳市南山區工業和信息化局發布《深圳市南山區創新型現代產業體系“十四五”發展規劃》(以下簡稱《規劃》)?！兑巹潯诽岢觯旱?025年，南山區創新型現代產業體系建設的總體目標是形成一批國際影響力強、創新潛力足的產業集群，打造成為全國現代產業高質量發展典范?！兑巹潯氛咴恼堻c擊文末【閱讀原文】鏈接查看。

智能傳感器產業集群方面，《規劃》提出“打造滿足小批量微納制造的公共服務平臺。推動建立基于MEMS 工藝的8英寸或12英寸研發中試產線，加快搭建智能傳感器檢測檢驗公共服務平臺……”等一系列措施。

《規劃》提出：貫徹落實市“20+8”產業集群統一部署，南山重點圍繞網絡與通信、半導體與集成電路、超高清視頻顯示、智能終端、智能傳感器、軟件與信息服務業、數字創意、現代時尚、智能機器人、精密儀器設備、智能網聯汽車、高端醫療器械、生物醫藥、海洋產業等十四大產業集群，夯實戰略性新興產業發展基礎，打造占據全球價值鏈領先地位的新興產業集群。前瞻謀劃區塊鏈、腦科學與類腦智能、細胞與基因、合成生物、可見光通信與光計算、深地深海、空天技術七大未來產業集群。

針對智能傳感器產業集群，《規劃》提出：以“瞄準高端、設計引領、應用牽引”為主線，建立智能傳感器全流程設計體系，聚焦終端應用和智慧城市感知兩個重點領域，加快突破一批重點產品，打造傳感器創新城市場景，引導智能傳感器技術、人才、資本、服務等創新要素聚集，將南山打造成智能傳感器硬科技產業基地。

建立設計實現支撐體系和企業培育服務體系。聚焦聲學、光學、生物和運動等領域高端智能傳感器研發，打造集傳感器總體結構設計、敏感元件設計、加工工藝設計、外圍電路設計、軟件算法設計等內容的全過程設計體系，支持龍頭企業設立智能傳感器工業設計中心，探索組建智能傳感器工業設計研究院。推動智能傳感器設計與驗證軟件工具開發及應用，提升器件結構設計與驗證、MEMS+ASIC 協同設計、產品性能仿真等方面的軟件和 IP核庫開發，重點培育具有首版次軟件研發與推廣能力的專精特新企業。

以應用帶動智能傳感器產業發展。推動智能傳感器企業嵌入國內外應用端龍頭企業供應鏈體系，支持開展智能終端、智能汽車等領域的供應商資格認證，推動智能傳感器企業向模組、設備、系統和解決方案等產業延伸。鼓勵終端應用企業的智能傳感器供應商落戶集聚，支持潛在新產品優先納入本土供應鏈體系。引進培育全球知名電子元器件經銷商和集成商，為智能傳感器企業提供規?；涗N渠道。加快傳感器產品在南山智慧城市建設中的示范應用，依托智慧水務、智慧交通、智慧安防、環境監測等領域前端感知網絡建設，實施“321”應用計劃，力爭在每個應用領域南山至少擁有 3 種傳感器系列產品、2家代表性企業以及 1 套整體解決方案。

打造滿足小批量微納制造的公共服務平臺。推動建立基于MEMS 工藝的8英寸或12英寸研發中試產線，加快搭建智能傳感器檢測檢驗公共服務平臺，為中小微企業提供設計、制造、快速封測、應用示范推廣等服務。支持龍頭企業與終端應用企業、高校和科研院所等成立智能傳感器產業聯盟，積極爭取市級創新中心落戶，推動上下游企業建立更緊密的合作關系。

針對精密儀器設備產業集群建設，《規劃》提出：發揮南山良好的精密儀器設備產業集群基礎，加快突破芯片、算法等產業鏈關鍵環節，推進重點產品核心技術自主化進程，實現部分高端產品“國產化替代”，形成一批國際知名品牌和細分領域特色品牌。完善配套服務建設，著力將南山打造成為體系完整、優勢顯著、具有影響力的精密儀器設備研發創新引領區。

支持產品高端化發展。支持重點企業加大核心算法、芯片、傳感器、減速器等關鍵技術和核心零部件研發，為智能網聯汽車、節能環保、集成電路設備、智能機器人等重點產業高質量發展提供有力支撐，提升高端精密儀器設備自給率和自主化率。加快光譜儀、色譜儀、質譜儀、掃描電鏡、體外診斷等科學分析儀器領域布局建設。加快推動精密儀器設備向智能化、集成化、自動化方向發展，提升產品核心競爭力。鼓勵龍頭企業通過海內外并購方式完成產業布局，掌握核心技術，提升高端產品市場占有率。

強化產業支撐服務。圍繞產業共性關鍵技術需求，探索創建精密儀器制造業創新中心，高標準建設高端科學儀器研制中心等重大平臺項目。積極發揮廣東省醫療監護儀器工程技術研究中心、深圳單分子檢測技術與儀器開發工程實驗室、南山區大型科學儀器共享平臺和創新型企業集聚優勢，依托深圳高新區、科技生態園、南山智園，重點打造精密儀器設備研發創新集聚區。加強對產業復合型人才、高層次人才、高技能人才引培，加快精密儀器設備產業配套建設。

審核編輯 黃宇