白光干涉儀如何測曲面粗糙度特征

白光干涉儀又叫做非接觸式光學3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術為基礎研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm別。面和線粗糙度測量，可確保0.1nm的測量可靠性，不限制材質和形狀。利用光波干涉原理 將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度，可以輕松測量曲面粗糙度。

在實際測量過程中，被測物體表面的形狀可能是比較復雜的曲面，這就需要將曲面分成很多小區域，逐個進行測量來確定表面的整體形狀。一般來說，曲面可以由一系列的平面或曲面所組成，每個小區域的表面形狀都可以近似看作是一個平面或曲面。測量過程包括三個主要步驟：校準、分區和測量：

1. 校準

校準是確定測量儀器的基準，校正干涉圖像；需要把白光干涉儀與標準平面進行校正。一般情況下，使用平面玻璃作為標準平面，通過調節干涉儀的反射鏡和位移鏡等參數，使得干涉圖像呈現出平直的垂直桿紋。

2. 分區

將被測曲面劃分為若干個小區域，每個小區域都可以看成是一個平面或者一個曲面，需要依次進行測量。在分區之確定分區大小，一般情況下根據曲面變化情況確定分區大小，如果曲率變化較大的地方，分區可以設置得更小。

3. 測量

在分區的過程中，需要通過調整白光干涉儀的參數，使得干涉圖像呈現出垂直的桿紋，然后測量每個小區域的高度信息。在測量每個小區域時，需要確定參考面，一般可以根據分區的情況選擇適當的參考面，可以是標準平面或上一個分區的表面等。

針對葉片類曲面零部件，型號為W3的白光干涉儀能夠在空間范圍內實現曲面全自動測量功能，解決其形狀不規則裝夾不便、測量點分布不在同一個面、單次測量效率低的問題。

注意事項

在測量曲面時需要注意以下幾點：

1. 測量時需要避免強烈的光線干擾，盡量在較暗的環境中進行測量。

2. 操作時需要小心謹慎，避免干涉儀鏡片受到損壞或者誤差。

3. 在曲面的分區時需要合理劃分大小，尤其是在曲率變化大的地方。

4. 參考面的選擇需要合理考慮，避免測量誤差。

5. 測量結果需要進行數據處理和修正，避免誤差。