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先進封裝中硅通孔(TSV)銅互連電鍍研究進展

深圳市賽姆烯金科技有限公司 ? 來源: 科技導報 ? 2023-09-06 11:16 ? 次閱讀

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來源:《科技導報》2023年第5期

作者:諶可馨 1,3,高麗茵 1,2*,許增光 2,李哲 1,劉志權 1,2

審核編輯:湯梓紅

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原文標題:先進封裝中硅通孔(TSV)銅互連電鍍研究進展

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