半導體企業精密檢測儀器故障原因排查方案

半導體行業生產設備有刻蝕、薄膜沉積、清洗、濕制、封裝和測試、拋光、硅晶圓制造等設備，這些精密生產設備對工藝要求很高，例如對供電的穩定性和質量要求，對溫度嚴格的監測和控制等

福祿克公司推出的新一代電能質量分析儀可幫助半導體及電子制造等敏感制造業：

1、日常維護供電質量，提早發現故障隱患，避免停機及降低廢品率

2、快速排查故障原因，盡快恢復生產

案例一：

某半導體生產企業車間安裝了3套半導體測試設備，一臺安裝在正在運行的的生產測試線上，有專用的供電，供電質量很好，一直未出現問題

其余兩臺備用，用墻上的220V插座供電，故障率頻發，損壞了多塊開關卡。

該半導體測試設備里面的高精密矩陣開關，里面是繼電器，是機械開關，漏電流很低。

該檢測設備是執行高精度參數測試，適用于測量精度要求很高的場合，要求達到皮乏（PF）、皮安（PA）量級，因此該精密測試設備對供電環境也有較高要求。

故障表現是開關自檢時報錯，漏電流達到了微安量級。

用戶聯系福祿克公司的專家去測試現場查找故障原因

下圖是測試現場：

儀器在現場持續監測了一周時間

測試結果概述：

捕捉到了發生了多次的電壓波動（＞10%），最嚴重的一次事件：最大偏差-132.2V ，持續時間 0.459ms

數據分析：電壓電流趨勢

監測期間發生的事件列表

捕捉到的波形偏差，可以查看有效值變化特性曲線，幅值大多在20~30V之間

捕捉到的波形偏差，也可以查看發生時的波形（持續時間3.079s）

總結

監測的一周時間內，發現一次較高的電壓波動，和用戶反饋的故障周期吻合

精密檢測設備需要獨立、穩定、高質量的供電電源！

使用Fluke 1777在線監測功能幫助用戶查找到了故障的原因：電壓波動，導致精密開關無法正常工作

也幫助售后人員確認了精密儀器對電壓波動的耐受范圍：＜40V大概率沒問題

用戶反映后期還即將投入使用的3#和4#測試儀器，給用戶提出建議：

1.先用1777監測供電質量，電壓波動閾值設置為50V，避免器件損壞造成的損失

2.和上次的質量做對比

3.完善安裝調試及售后技術人員的操作規程，明確供電質量的要求指標

審核編輯：湯梓紅