剛剛！中國第一MEMS代工廠宣布，其首款國產BAW濾波器正式量產！手機國產5G通信有望實現？

剛剛，中國及全球最大的MEMS代工廠賽微電子官宣，其首款基于MEMS技術的國產BAW濾波器實現量產，將會帶來哪些影響？中國手機有望用上國產5G、6G射頻芯片實現5/6G通信功能？

剛剛，中國及全球第一MEMS代工廠賽微電子官宣其首款國產BAW濾波器實現量產，什么情況？已與某客戶簽署長期采購協議！

剛剛（7月16日下午4點35分），中國及全球最大的MEMS晶圓代工廠賽微電子正式官宣，其首款國產BAW濾波器實現量產。該聲明只有一句話，充分體現了字少事大。

▲來源：賽微電子官方公眾號

據賽微電子同步發布的《北京賽微電子股份有限公司關于控股子公司BAW濾波器啟動量產的公告》顯示，其以 MEMS 工藝為某客戶制造的系列 BAW (Bulk Acoustic Wave,帶諧振腔體聲波) 濾波器完成了小批量試生產階段，已與某客戶簽署長期采購采購協議并啟動量產：

2023 年 7 月 15 日，該客戶已與賽萊克斯北京同步簽署《長期采購協議》賽萊克斯北京開始進行 BAW 濾波器的商業化規模量產。

▲來源：賽微電子公告

據7月3日，賽微電子接待機構調研時的聲名顯示，該BAW濾波器產線初期產能為2000片晶圓/月，后期將擴展到10000片晶圓/月水平：

公司與武漢敏聲以共同購置設備的方式合作建設的北京8英寸BAW濾波器聯合產線已于2022年底實現通線，雙方一直就數款BAW濾波器開展相關工作，工藝開發及試產工作符合預期，專線產品類別增加，良率水平大幅提升，量產事宜正在積極準備中。該產線初期建成的產能為2000片晶圓/月，后可擴展至1萬片晶圓/月的水平。

關于BAW濾波器及在通信中的作用：是國產手機5G/6G通信卡脖子最關鍵的技術之一！

此前，華為發布了P50 Pro、Mate 50等多款屏蔽了5G功能只有4G網絡的旗艦手機，既令人遺憾又飽受詬病。

手機要用5G，除了有基帶芯片還不行，還必須有射頻前端模組/芯片，用來收發信號，射頻器件領域是制約我國工業發展的“卡脖子”關鍵技術之一。其中，射頻前端芯片中的一個重要核心的器件遲遲無法國產化量產——這就是采用MEMS工藝的BAW濾波器。

射頻前端模組，由濾波器、低噪聲放大器（LNA）、功率放大器（PA）、射頻開關等器件組成，如下圖所示：

▲射頻前端模塊結構（來源：方正證券）

濾波器是射頻前端中最重要的分立器件，在整個射頻前端模組中，濾波器的產值占到了50%以上。我國在射頻前端模組中，最主要和關鍵的卡脖子節點，就在濾波器這里。

濾波器的作用就是通過某特定的頻率，而衰減其他頻率成分，從而提高信號抗干擾和信噪比。

隨著2G、3G、4G、5G甚至未來的6G，逐步演進，需要用到的頻段和制式越來越多，頻段越來越高，因此對濾波器的要求也越來越高，需求越來越多。

目前一個5G手機普遍需要70+個濾波器，單價也比4G的濾波器貴了許多。

▲手機濾波器需求數量變化（來源：頭豹研究院）

濾波器主要分為兩種：表聲波濾波器（SAW濾波器）和體聲波濾波器（BAW濾波器），其中SAW濾波器比較適合2GHz左右及以下的頻段，而BAW濾波器的優勢在于中高頻段的性能優勢，如更小的插入損耗、更高的帶外抑制等，所以BAW濾波器成為5G甚至未來6G通信的關鍵。

▲濾波器技術分類及簡介（來源：方正證券）

目前，全球濾波器市場基本被國外廠商壟斷，國內僅有少數企業能夠生產，量產情況及市場占有率不佳，絕大部分產品性能不及國際巨頭同產品。

據數據顯示，2020年，全球60%以上的濾波器基于SAW技術，其中95%市場基本被村田（Murata）、TDK、太陽誘電（Taiyo Yuden）、Skyworks和Qorvo壟斷。

博通、Qorvo等美國廠商則集中在BAW濾波器（博通主要是FBAR），兩家企業占據全球90%以上市場份額，這一市場狀況持續至今（2023年）。

▲來源：方正證券

歷經2年，賽微電子與武漢敏聲合作攻堅BAW濾波器生產，性能與國際巨頭相當！

2021年8月13日，賽微電子發布了一份控股子公司簽署《戰略合作框架協議》的公告，這份公告的主要簽署對象，就是國產濾波器設計企業武漢敏聲，這是賽微電子首次披露開啟首款國產BAW濾波器設計、生產的信息。

在合作公告里面，明確提到“涉及面向‘射頻濾波器芯片’的8英寸晶圓代工產能合作投資”，共同投入資源聯合建設8英寸射頻濾波器大規模量產線。賽微電子認為，本次與武漢敏聲的合作：

一方面將有利于公司更廣泛地與產業鏈下游公司進行交流合作，共同推動實現本土國產BAW濾波器的技術成熟與商業量產；另一方面通過合作投資模式，有利于公司加快北京MEMS工廠的二期產能建設與擴張，將進一步推動公司在本土形成和提升自主可控的BAW濾波器生產制造能力。

來源：賽微電子公告

一年后，2022年6月13日，賽微電子發布公告《關于控股子公司 BAW 濾波器通過驗證并啟動試產的公告》，聲名該產線開始試生產。

公告中顯示，由賽微電子北京FAB3產線代工制造的某款BAW通過了客戶驗證，經過對該批次BAW濾波器進行頻段抑制等多方面可靠性驗證，性能、良率均達到或優于設計指標要求，與國際射頻巨頭廠商同類別產品指標相當。

目前，該客戶已經同步簽署試產訂單，北京FAB3 啟動首批BAW濾波器8英寸晶圓的小批量生產。

▲來源：賽微電子公告

今日（7月16日），賽微電子發布公告，完成了小批量試生產階段并與某客戶簽署長期合作協議，賽微電子與武漢敏聲兩個中國杰出的MEMS企業歷時兩年通力合作，其首款國產BAW濾波器正式量產！

關于賽微電子

北京賽微電子股份有限公司（簡稱“賽微電子”），是全球及中國最大純MEMS代工廠，2015年在深交所創業板上市，重點發展MEMS工藝開發與晶圓制造業務，2016年全資收購瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開關、硅麥克風等多種MEMS工藝開發及晶圓制造的服務。

根據半導體市場研究機構Yole Development統計的2021年數據，Silex Microsystems AB 連續3年在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一，全球MEMS芯片代工市場（不包含IDM廠商自身制造部分的統計）的占有率約為8%。

賽微電子目前國內的MEMS產線位于北京，總產能為3萬片/月，分三期建設，2021年6月北京8英寸MEMS產線（北京FAB3，塞萊克斯北京）一期建成生產，其一期產能為1萬片/月，二期產能為2萬片/月，與武漢敏聲合作建設的濾波器產線已包括在二期產能中。

關于武漢敏聲

武漢敏聲新技術有限公司（簡稱“武漢敏聲”），是國產射頻前端BAW濾波器行業知名企業，據官網顯示，由武漢大學工業科學研究院孫成亮教授聯合14名國際知名業內專家共同創立。公司以射頻濾波器為拳頭產品，同時覆蓋壓電式麥克風以及壓電超聲傳感器芯片，致力于打造成一家集設計、生產和銷售于一體的企業。公司具備完整的自主知識產權，已經注冊百余項專利，建立了多維度多層次的專利壁壘。

武漢敏聲自有知識產權的無線射頻前端體聲波濾波器（BAW）屬于射頻濾波器中技術門檻和價值量較高的產品，該類產品市場應用空間廣闊，長期被國外廠商壟斷，其所屬的射頻器件領域是制約我國工業發展的“卡脖子”關鍵技術之一。

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審核編輯 黃宇