1平行度。
如果主軸水平不符合要求,切割后的刀槽會變寬,邊緣會嚴重坍塌。例如,NBC-ZH2050O-SE27HEDD刀具切割硅晶圓,主軸轉速3萬r/min、劃切速度20mm/s時間。理想的刀痕為0.030~0.035mm,當主軸打表水平等于5時μm實測刀痕為0.045mm。
2垂直度。
如果切割后工件的刀槽一側坍塌,裂紋嚴重,另一側正常,通常由于主軸垂直度不足,可根據坍塌邊緣確定主軸的仰角或俯角。
3.主軸速度。
主軸速度匹配切割速度,影響切割效果是主軸速度,理論上增加主軸速度,提高切割速度,確保固定線速度不影響切割效果,但不同速度范圍內的主軸振動不同,需要找到最佳組合點,在保證切割效果的前提下提高效率。注:選擇主軸速度時,注意工具允許的最大速度,如DISCO的PIA直徑50的系列刀具mm(2寸)刀盤時,最高速度<60000r/min;75mm(3寸)刀盤時,最高速度<40000r/min。刀具在超過允許的最高速度時會自動解體。
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