TCAD基礎知識介紹

TCAD相信很多人都用過，很多人說做工藝指導還行，信它就可能把片子玩飛了。TCAD在工藝仿真上有它一定的局限性，畢竟工藝過程總環境、物料、人的影響很大。作為器件仿真還是值得學習一下。

TCAD就是Technology Computer Aided Design，指半導體工藝模擬以及器件模擬工具，世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas，Synopsys公司的TSupprem和Medici以及ISE公司（已經被Synopsys公司收購）的Dios和Dessis 以及Crosslight Software公司的Csuprem和APSYS。此外還有維也納TCAD GlobalSolution公司的TCAD套件，以及新加坡Cogenda公司的VisualTCAD套件。

TCAD流程：

怎么設計元件，怎樣做元件的模擬？

第一條路：DeckBuild －＞ command file －＞device simulator

第二條路：process simulator －＞structure files －＞device simulator

使用TCAD原因：

減少開發成本：ITRS roadmap表明，TCAD仿真可以將開發周期的成本降低30％左右。

內部物理過程可視化：你可以看到設備內部。測量告訴你發生了什么，而不是為什么它發生，TCAD提供了為什么答案。

誰用TCAD ：

Foundries 和 Integrated Device Manufacturers