中科飛測橢偏膜厚量測儀作為首批設備，正式搬入士蘭集科

首批設備進場！中科飛測橢偏膜厚量測儀正式搬入廈門士蘭集科

繼士蘭微電子12英寸特色工藝半導體芯片項目于5月10日宣布正式通電后，工藝設備也將開始陸續進場。5月20日，深圳中科飛測科技有限公司（以下簡稱“中科飛測”）橢偏膜厚量測儀作為首批設備，正式搬入廈門士蘭集科微電子有限公司（以下簡稱“士蘭集科”）。

中科飛測是一家以在集成電路設備領域有多年經驗的研發和管理團隊為核心，自主研發和生產工業智能檢測裝備的高科技創新企業。同時，中科飛測也是目前國內唯一一家在Metrology（量測）和Inspection（缺陷檢測）兩大領域均在國內一線半導體制造廠商取得批量訂單的半導體光學檢測設備供應商。

士蘭集科由廈門半導體投資集團有限公司與杭州士蘭微電子股份有限公司共同出資設立。根據規劃，士蘭集科將投資170億元在廈門海滄建設兩條12英寸特色工藝芯片生產線。

2018年10月18日，士蘭廈門12英寸特色工藝芯片生產線暨先進化合物半導體生產線在廈門海滄動工，這是國內首條12英寸特色工藝芯片制造生產線和下一代化合物生產線。2020年5月10日，士蘭廈門12英寸特色工藝半導體芯片項目正式通電。隨著該項目的正式通電，工藝設備將從5月中旬陸續進場，預計年底通線。