敏芯股份：MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同

蘇州敏芯微電子技術股份有限公司（以下簡稱“敏芯股份”）近日宣布，上海證券交易所科創板股票上市委員會定于6月2日下午14時召開2020年第34次上市委員會審議會議，屆時將審議公司的首發申請。敏芯股份表示，公司堅持自主研發MEMS芯片和ASIC芯片，正在逐漸進入全球最重要的7大消費電子品牌。

據悉，敏芯股份2007年在蘇州工業園區成立，是國內首批成立的MEMS芯片研發企業。公司創立者李剛在碩士和博士階段的研發方向均為MEMS技術，博士畢業以后開始創業歷程，創業方向是其始終看好的MEMS芯片。

MEMS中文名稱是微機電系統。MEMS芯片是用半導體技術在硅片上制造電子機械系統，即做一個可以把外界的物理、化學信號轉換成電信號的納米級機械系統。該類芯片最常用的是承擔傳感功能，沒有MEMS芯片的人工智能和萬物互聯，就相當于沒有感官器官的人。

敏芯股份稱，MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同，且一種MEMS芯片對應一種制造工藝。芯片研發公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主開發生產工藝的能力。這是MEMS芯片企業創業艱難的核心所在，也是公司推動MEMS產業鏈全國產化的原因。

據介紹，在敏芯股份創業初期，MEMS傳感器的商業化程度較低，整體市場規模較小，沒有商業化的芯片生產廠商愿意投資MEMS生產線。2008年，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所（以下簡稱“蘇州納米所”）建成了MEMS研發平臺，公司的第一批芯片就是在蘇州納米所的研發平臺生產出來的。

敏芯股份定位于成為德國英飛凌那樣的獨立芯片供應商，向A股上市公司共達電聲出售芯片，幫助其發展MEMS業務，為了幫助共達電聲形成MEMS麥克風出貨能力，敏芯股份在2008年上半年向共達電聲導入了MEMS麥克風封裝技術。

“公司的發展歷程和整個中國MEMS國產產業鏈的形成過程高度重合?！泵粜竟煞莘Q，2010年華潤上華在MEMS國家02專項的支持下，開始籌建國內第一條商用MEMS芯片生產線，公司將MEMS麥克風和壓力芯片的生產工藝導入華潤上華，至今仍是華潤上華最大的MEMS芯片客戶；2014年公司將MEMS麥克風、壓力傳感器的封裝技術導入華天科技，至今也是華天科技最大的MEMS封裝客戶；2015年公司將MEMS加速度計芯片生產工藝導入中芯國際，開創性地將MEMS和ASIC兩顆芯片集成為一顆芯片，推出全球最小尺寸MEMS加速度計傳感器，公司也是中芯國際最重要的MEMS芯片客戶。

敏芯股份透露，公司形成了從芯片設計、芯片仿真工具設計、芯片制造工藝、封裝設計、封裝制造工藝、測試工藝的全產業鏈研發能力，加上產業鏈的整合能力，不僅可以繼續在MEMS麥克風領域擴大份額，還能在其他的MEMS傳感器領域大展拳腳。

公司表示，與其他硬科技行業類似，國內的MEMS芯片行業剛剛起步，公平及良性的競爭環境是實現行業可持續和高質量發展的重要保障，尤其是MEMS芯片這種定制工藝特點突出的行業，還有眾多類型的芯片生產工藝需要行業先行者去研發和突破。