金屬氧化物濕敏元件由于電阻值與相對濕度的特性為非線性，而且存在著溫度系數，因此它們在使用中存在互換性差。溫敏元件的這種特性，要求在電路設計中必須考慮線性化處理和溫度補償問題，如若不然，將會使測量誤差增大到無法使用的地步。
具有線性化處理及溫度補償功能的金屬氧化物溫敏元件應用電路框圖
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具有線性化處理及溫度補償功能的金屬氧化物溫敏元件實際應用電路
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在圖21-20中，由IC1及外圍元件組成低頻振蕩器在它的反饋回路中串有兩個LED發光二極管VD2、VD3，以提高振蕩幅值的穩定性。振蕩器可輸出頻率為900Hz、1.3V的正弦波信號，作為濕敏元件的工作電壓源。
IC2與外圍元件組成對數壓縮電路，它是利用硅二極VD4、VD5正向電壓與電流成對數關系的特性來實現對數壓縮的，從而實現續性化處理，用來補償濕敏元件的非線性。由于硅二極管VD4、VD5具有-2mV/℃的溫度特性，所以可以對濕敏元件起到一定的溫度補償作用，但這種補償是初步的，可能過大或過小。為了得到精確的補償效果，在由IC4組成的放大電路中，設置了由VD8及RP1等組成的溫補電路，通過調節RP1，可獲得理想的溫度補償。IC3組成整流電路，整流后的直流電壓經IC4放大后輸出。