【摘要】簡述了壓電加速度傳感器的結構原理。說明了該傳感器靈敏度的線性度問題，分析了其正向反向靈敏度的差異與“飽和現象”，以便在生產、鑒定與使用時加以注意。
1 傳感器的結構及工作原理
壓電式加速度傳感器又稱壓電加速度計。它也屬于慣性式傳感器。它是利用某些物質如石英晶體的壓電效應，在加速度計受振時，質量塊加在壓電元件上的力也隨之變化。當被測振動頻率遠低于加速度計的固有頻率時，則力的變化與被測加速度成正比。
常用的壓電式加速度計的結構形式如圖1。S是彈簧，M是質塊，B是基座，P是壓電元件，R是夾持環。圖1（a）是中央安裝壓縮型，壓電元件—質量塊—彈簧系統裝在圓形中心支柱上，支柱與基座連接。這種結構有高的共振頻率。然而基座B與測試對象連接時，如果基座B有變形則將直接影響拾振器輸出。此外，測試對象和環境溫度變化將影響壓電元件，并使預緊力發生變化， 易引起溫度漂移。圖1（b）為環形剪切型結構簡單，能做成極小型、高共振頻率和加速度計，環形質量塊粘到裝在中心支柱上的環形壓電元件上。由于粘結劑會隨溫度增高而變軟，因此最高溫度受到限制。圖1（c）為三角剪切形，壓電元件由夾持環將其夾牢在三角形中心柱上。加速度計感受軸向振動時，壓電元件承受切應力。這種結構對底座變形和溫度變化有極好的隔離作用，有較高的共振頻率和良好的線性。
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圖1 壓電式加速度計的結構形式圖
就其結構特點而言，壓縮式壓電傳感器（加速度計）第三種結構形式與前兩種相同，原理也相同，所不同的是其敏感元件的安裝方向倒置了。所以，對于同一加速度輸入，其響應極性正好相反，即軸向靈敏度的方向相反。前兩種型式的傳感器結構如圖2。
圖2 壓縮式電傳感器結構圖
它們由預緊彈簧、慣性質量、壓電晶體片、墊片、連桿、鎖緊螺母、殼體和基座等組成。當固定在被測物體上的傳感器隨物體運動時，其慣性質量塊產生慣性作用力作用在壓電晶體片上，壓電晶體片產生與此作用力成比例的變形，由于壓電晶體片的壓電效應，便產生與壓電元件變形成比例的電荷，此信號由輸出端引出。在此傳感器中，壓電晶體片既是敏感元件又是彈性元件。一般把壓電晶體片看成無質量的彈簧。慣性質量塊為絕對剛性。預緊彈簧與墊片的質量均忽略不計。所以該傳感器可簡化成單自由度系統，見圖3，其固有頻率為：
式中： K為圓板形壓電晶體片的剛度；ms為慣性質量塊的質量；E為壓電晶體片的楊氏模量；D為壓電晶體片的直徑；t為各晶體片的厚度；mb為傳感器基座和殼體的質量。
圖3 壓縮式電傳感器原理圖
m-慣性質量；s-彈簧；b-基座
所謂壓電傳感器的軸向靈敏度就是在一定條件下其指定的電輸出量與軸向指定的機械輸入量的比值，即：
檢查靈敏度幅值線性度時，傳感器靈敏度的方向性可根據外加軸向機械運動的方向而定；若外加運動使慣性塊慣性力方向指向傳感器的基座時，輸出靈敏度方向為正向，若外加運動使慣性質量塊的慣性力方向背向傳感器基座時，輸出靈敏度為負向。例如將壓電傳感器固定在跌落沖擊臺的上安裝臺面時，在沖擊時產生的靈敏度為正向，若將壓電傳感器固定在其下安裝臺面時，沖擊時產生的靈敏度為負向。而對于倒置中心安裝式傳感器的靈敏度剛好相反。